Skip to main content

Jaké jsou různé aplikace křemíku tenkého filmu?

Existují desítky různých metod pro ukládání křemíku tenkého filmu, ale obecně je lze rozdělit do tří kategorií.Existují procesy depozice chemické reakce, jako je depozice chemických par, epitaxy molekulárního paprsku a elektrodepozice.Fyzikální depozice páry je depoziční proces, ve kterém dochází k fyzické reakci.Existují také hybridní procesy, které používají jak fyzikální, tak chemické prostředky, které zahrnují depozici rozprašování a metody vypouštění plynu nebo záře.Křemíkové vrstvy tenkého filmu na cílový substrát.Zdrojový materiál se odpaří ve vakuové komoře, což způsobuje, že částice se stejně rozptýlí a obtěžují všechny povrchy v komoře.Pro toto používání dvou metod fyzické depozice páry jsou elektronové paprsky nebo e-paprsky k zahřívání a odpaření zdrojového materiálu nebo odporového odpařování pomocí vysokého elektrického proudu.Depozice rozprašování používá částečné vakuum naložené inertním, ale ionizovaným plynem, jako je argon, a nabité ionty jsou přitahovány k použitým cílovým materiálům, které odtrhnou atomy, které se pak usadí na substrátu jako křemík tenkých filmů.Existuje mnoho různých typů rozprašováním, včetně reaktivního iontu, magnetonu a shlukového paprsku, což jsou všechny změny ohledně toho, jak se provádí iontové bombardování zdrojového materiálu.filmový křemík a je přesnější než fyzické metody.Reaktor je naplněn řadou plynů, které spolu navzájem interagují za účelem vytváření pevných vedlejších produktů, které kondenzují na všech površích v reaktoru.Křemík z tenkého filmu vytvořený tímto způsobem může mít extrémně jednotné vlastnosti a velmi vysokou čistotu, což činí tuto metodu užitečnou pro polovodičový průmysl a také při výrobě optických povlaků.Nevýhodou je, že tyto typy metod depozice mohou být relativně pomalé, často vyžadují reakční komory pracující při teplotách až do 2 012 deg;Fahrenheit (1100 Deg; Celsia) a využívat velmi toxické plyny, jako je Silane..Brzy reaktivní iontové komory byly zavěšeny z laboratorního dna, aby je izolovaly, protože musely být účtovány na 50 000 voltů a mohly by zkrátit počítačové vybavení, i když jen seděli na betonu poblíž.Měděné trubky o průměru dvanáctipalcové průměry, které běhaly z těchto reaktorů do podloží pod výrobní podlahou, byly hovorově známé jako Ježíš honící pracovníky laboratořemi, s odkazem na skutečnost, že kdokoli se ho dotkljejí.Produkty, jako jsou solární články senzibilizované na barvivo, nabízejí nový, méně nebezpečný a levnější přístup k výrobě tenkých filmů, protože nevyžadují přesné silikonové polovodičové substráty a mohou být produkovány při mnohem nižších teplotách přibližně 248 a DEG;Fahrenheit (120 deg; Celsius).