Skip to main content

Jaké jsou různé typy substrátů tenkých filmů?

Tenké filmy měřící kdekoli od méně než nanometru po několik mikrometrů tlusté jsou příliš tenké a jemné, aby se zvládly bez pomoci substrátu.Filmy musí být vytvořeny na povrchu substrátu a zůstat připojeny k tomuto materiálu poté, co jsou vytvořeny.Existuje mnoho různých typů substrátů tenkých filmů a inženýři si vybrali substrát založený na zamýšleném použití tenkého filmu.Substráty mohou být vyrobeny z kovového, keramického, skla, plastu nebo kombinací těchto materiálů.

Kramické tenké filmové substráty se používají pro řadu tenkých filmů, včetně těch, které jsou určeny pro použití v elektronice.Supravodiče, polovodiče a mikročipy běžně používají tenký film, který se pěstuje na keramickém substrátu.Některé běžné keramické substráty jsou hlinitý, berylia a nitrid hlinitý.

Alumina je nejčastěji používaným keramickým substrátem hlavně proto, že materiály použité k jeho vytvoření jsou snadno dostupné a levné.Materiál je odolný, dobře vede teplo a je odolný vůči silným kyselinám a základnám.Beryllia je další běžnou volbou, protože má vysoký bod tání a je vynikajícím izolátorem..Rychle také provádí teplo a při zahřívání se nerozšiřuje.Chemikálie použité k výrobě substrátu nereagují s těmi, které se používají v typických polovodičích.Tento materiál se často používá pro chladiče, mikrovlnná zařízení, napájecí tranzistory a v materiálech používaných k manipulaci s objekty při vysokých teplotách.

Sklo nebo čirý plast se běžně používají tenké filmové substráty nalezené v optických zařízeních, jako jsou mikroskopy a dalekohledy.Tyto substráty mohou být vybaveny různými čočkami tenkých filmů, které mohou být navrženy tak, aby prováděly různé funkce.Mohou zúžit rozsah světelných frekvencí, které jsou povoleny prostřednictvím čoček nebo zlepšit určité frekvence světla.Různé čočky jsou navrženy na různé specifikace a jeden substrát skla lze vybavit řadou různých filtrů tenkých filmů, které mění vlastnosti světla mnoha různými způsoby.

Některé kovy lze také použít jako substráty tenkých filmů.Vlastnosti specifických kovů se používají k určení, které tenké filmy by nejlépe podporovaly.Kovové substráty se používají v různých tenkých filmových zařízeních, včetně některých elektronických zařízení.