Co je to plazmový lepták?

Plazmový leptač je zařízení, které používá plazmu k vytvoření obvodových cest potřebných polovodičovými integrovanými obvody.Plazmový lepták to dělá tím, že vydává přesně zaměřený na trysek plazmy na křemíkovou oplatku.Když se plazma a oplatka přicházejí do vzájemného kontaktu, na povrchu oplatky dochází k chemické reakci.Tato reakce buď ukládá oxid křemičitý na oplatce, vytváří elektrické dráhy, nebo odstraní již oxid křemíkového oxidu, takže ponechá pouze elektrické dráhy.V závislosti na tom, zda má odstranit nebo ukládat oxid křesťanství.Toho je dosaženo nejprve vytvořením vakua v leptači a vytvořením vysokofrekvenčního elektromagnetického pole.Když plyn prochází leptáním, elektromagnetické pole vzrušuje atomy v plynu, což způsobí, že se přehřívá.

Když se plyn super-horké, vnikne do atomů základních složek.Extrémní teplo také odstraní vnější elektrony z některých atomů a změní je na ionty.V době, kdy plyn opustí plazmatickou leptací trysku a dosáhne oplatky, již neexistuje jako plyn, ale stal se velmi tenkým, přehřátým paprskem iontů zvaného plazma.

Pokud se k vytvoření plazmy používá plyn obsahující kyslík,Bude reagovat s křemíkem na oplatce a vytvoří oxid křemičitý, elektricky vodivý materiál.Jak proud plazmy prochází přes povrch oplatky přesně kontrolovaným způsobem, vrstva oxidu křemíkového oxidu připomínající velmi tenký film se hromadí na jeho povrchu.Po dokončení procesu leptání bude mít destička silikonu přesná řada stop oxidu křemíku.Tyto stopy budou sloužit jako vodivé dráhy mezi součástmi integrovaného obvodu.Při vytváření integrovaných obvodů existují případy, kdy dané zařízení může vyžadovat více povrchové plochy oplatky, aby byl oxid křemíkovým oxidem, než ne.V tomto případě je rychlejší a ekonomičtější umístit oplatku již potaženou materiálem do plazmového leptače a odstranit nepotřebný oxid křemíkového oxidu.

Aby to udělal, lepták k vytvoření své plazmy používá plyn na bázi fluoru.Když fluorová plazma přijde do kontaktu s oxidem křemičitým potahováním oplatky, oxid křemíku je zničen chemickou reakcí.Jakmile Encher dokončí svou práci, zůstávají pouze cesty oxidu křemíkového oxidu potřebného integrovaného obvodu.