Co je to rozprašovací stroj?

Rozprašovací stroj je obvykle malá utěsněná komora, kde energetické částice, jako jsou elektrony, bombardují zdrojový materiál, který vysune atomy z povrchu.Tyto atomy se poté odrazí ze stěn komory a potahují objekt vzorku uvnitř komory.Skenování elektronových mikroskopů (SEM), které se spoléhají na elektrickou vodivost vzorků při pohledu na prvky v nanometrovém měřítku, se často spoléhají na rozprašovací stroj, aby se obal biologických vzorků s tenkou vrstvou platiny nejprve pro prohlížení.Další použití technologie rozprašování strojů zahrnuje povlak tenkých filmů v procesu depozice pro polovodičový průmysl a leptání povrchové vrstvy od materiálu, aby se určila jeho chemické složení.Složité a drahé, rozprašovací zařízení nemusí být.Napravovací stroje mohou být relativně jednoduchá zařízení pracující na zavedených fyzických principech a často postrádají pohyblivé části nebo potřebu složité údržby.Rozšiřují se od malých zařízení s malými stoly po velké podlahové modely.Depoziční materiál je přeměněn na páru v rozprašovací komoře pod nízkým tlakem, obvykle částečné vakuum.Parní pára kondenzuje na materiál substrátu v komoře a vytvoří tenký film.Tento film může být jen několik vrstev atomů nebo molekul tlustých a zhoustne v přímém poměru k tomu, jak dlouho proces rozprašování pokračuje.Mezi další faktory v tloušťce tenkého filmu patří hmotnost každého příslušného materiálu a hladina energie potahovacích částic, která se může nabitá z desítek elektronových voltů až po tisíce.stroj v procesu známém jako potenciální rozprašování.Materiál rozprašování je podáván iontový náboj, který pak ztratí, když má dopad na cílovou plochu.S tímto procesem souvisí reaktivní iontové leptání (RIE), které využívá přirozeně iontové materiály ve výzkumu sekundárního iontového hmotnostního spektrometrie (SIMS), k analýze přítomnosti stopových prvků v materiálech.Zpracování statických Sims roztrhne tak jemnou rychlost, že z cílového povrchu bude odstraněna pouze desetina atomové monovrstvy.Je to proto další užitečný nástroj v nanotechnologickém výzkumu, stejně jako rozprašovací stroj pro SEM.Mohou být také použity jako velmi jemný způsob čištění a leštění jemných součástí.Drahé šperky a nádobí, jako je zlaté příbory, mohou také podstoupit depozici rozprašování, stejně jako specializované zlaté a hliníkové filmy.