Co je to rozprašovací cíl?

Upravovací cíl je materiál, který se používá k vytváření tenkých filmů v technice známé jako depozice rozprašování nebo depozice tenkého filmu.Během tohoto procesu je rozprašovací cílový materiál, který začíná jako pevná látka, rozkládá se plynnými ionty na malé částice, které tvoří postřik a potahují jiný materiál, který je známý jako substrát.Depozice rozprašování se běžně podílí na vytváření polovodičů a počítačových čipů.Výsledkem je, že většina cílových materiálů pro rozprašování jsou kovové prvky nebo slitiny, ačkoli jsou k dispozici některé keramické cíle, které vytvářejí tvrdé tenké povlaky pro různé nástroje.a tvar.Nejmenší cíle mohou mít průměr menší než jeden palec (2,5 cm), zatímco největší obdélníkové cíle dosahují délky přes jeden yard (0,9 m).Některá rozprašovací zařízení budou vyžadovat větší cíl rozprašování a v těchto případech vytvoří výrobci segmentované cíle, které jsou spojeny speciálními klouby.charakteristický.V souladu s tím se také začaly rozšiřovat cílový tvar a struktura.Tvar rozprašovacího cíle je obvykle buď obdélníkový nebo kruhový, ale mnoho cílových dodavatelů může na vyžádání vytvořit další speciální tvary.Některé systémy rozprašování vyžadují rotující cíl, aby poskytoval přesnější, dokonce i tenký film.Tyto cíle jsou tvarovány jako dlouhé válce a nabízejí další výhody, včetně rychlejšího ukládání rychlosti, menšího poškození tepla a zvýšené povrchové plochy, což vede k větší celkové užitečnosti.Typ iontů použitých k jejich rozpadu.Tenké filmy, které vyžadují čisté kovy pro cílový materiál, budou mít obvykle větší strukturální integritu, pokud je cíl co nejčistší.Ionty používané k bombardování cíle rozprašování jsou také důležité pro produkci slušného kvalitního tenkého filmu.Obecně je argon primárním plynem zvoleným pro ionizaci a iniciaci procesu rozprašování, ale pro cíle, které mají lehčí nebo těžší molekuly, je jiný ušlechtilý plyn, jako je neony pro lehčí molekuly nebo krypton pro těžší molekuly, je účinnější.Je důležité, aby atomová hmotnost plynových iontů byla podobná hmotnosti molekul rozprašovacích cílů pro optimalizaci přenosu energie a hybnosti, čímž se optimalizovala vyrovnanost tenkého filmu.