Co je reaktivní leptání iontů?

Reaktivní leptání iontů je typ technologie používané při mikrofabrikaci k odstranění látek z oplatek.Destičky jsou malé polovodičové proužky používané při vytváření mikrodevisů a reaktivní technologie leptání iontů zajišťuje, že zůstávají bez materiálů, které by mohly negativně ovlivnit jejich účinnost.Postupy mikrofabrikací se provádějí se speciálně navrženými zařízeními, která určují látku, která má být odstraněna bez obětování integrity oplatky.spodní část komory.V horní části nádoby jsou malé otvory, které nechají plyn.Používají se různé typy plynů, v závislosti na individuálních požadavcích konkrétní oplatky.S tímto zařízením je plazma vytvořena vysoce specializovaným magnetickým polem.Není neobvyklé dosáhnout vysokých hladin plazmatické koncentrace s touto metodou.Ionty v plazmě mají neobvykle vysoké množství energie.Tyto ionty reagují na úlomky na destičce a pracují na odstranění defektů na jeho povrchu.Nejprve je do oplatkové komory odesláno podstatné elektromagnetické pole.Pole pak osciluje, které ionizuje molekuly plynu v nádobě a odstraňuje jejich elektrony.To má za následek vytvoření plazmy.

Reaktivní leptání iontů je jedním typem širší kategorie mikrofabrikačního odstraňování zvaného suché leptání.V procesu odstraňování nepoužívá žádné kapaliny, na rozdíl od mokrého leptání, které k dosažení stejného konce používá různé kyseliny a chemikálie.Vzhledem k tomu, že mokrý leptání způsobuje podbíjení na oplatku, stejně jako významné množství toxického odpadu, suché leptání se stává populárnější metodou odstraňování chemikálií oplatky.Ve srovnání s technikami mokrých leptání je to mnohem dražší kvůli potřebnému specializovanému vybavení.Procesy suchého leptání obecně jsou však mnohem účinnější při dosahování složitějších oblastí oplatky.Je však důležité si uvědomit, že některé úlohy nevyžadují minutové detaily poskytnuté touto formou leptání a postupy mokrý leptání mohou úkol splnit stejně efektivně.