Skip to main content

Co je Augerova elektronová spektroskopie?

Augerová elektronová spektroskopie (AES) se často používá ke stanovení chemického složení tenké mikroskopické vrstvy povrchu.Částice nazývané elektrony jsou obvykle zaměřeny na materiál, který spouští efekt šneku, ve kterém je odstraněn elektron z vnitřního skořepiny atomu, zaujímá částku vyšší hladiny a je emitován další elektron.Testování, které se provádí v ultra vysokém vakuu, se obvykle provádí pomocí elektronové pistole, analyzátoru, detektoru a datového zapisovače.Informace jsou obvykle analyzovány graficky;Povaha píků obvykle pomáhá identifikovat, jaké sloučeniny jsou přítomny ve vzorku.

Paprsky elektronů se často používají, i když místo toho se někdy uvolňují rentgenové paprsky.Typ testovaného materiálu určuje, který se používá;Například oxidy mohou degradovat, pokud jsou vystaveny vysoké hladině elektronů.Látky lze identifikovat, protože energie Augerova elektronu je pro prvek obvykle jedinečná.V Augerově elektronové spektroskopii nejsou částice, které unikají, obecně tak energetické jako ostatní.Obecně musí být velmi blízko k povrchu, aby mohli uniknout, a veškeré plyny přítomné během AE mohou zabránit částice v dosažení detektoru.objektiv, který zaostří paprsek.Čočka může být buď elektrostatická nebo elektromagnetická;Který z nich se používá, závisí na požadovaném rozlišení.Analyzátor elektronové energie, který je součástí techniky Augerovy elektronové spektroskopie, může emitované částice třídit jejich hladinou energie.Analyzátor může být navržen jako válcové zrcadlo nebo dva hemisférické koncentrické skořápky.Data jsou poté analyzována sadami píků na grafu.Skeny obvykle trvají několik minut, zatímco měření s vysokým rozlišením může trvat až 25 minut.Průzkumná skenování obvykle identifikuje, jaké prvky jsou přítomny, zatímco další skenování může zjistit, jak koncentrované jsou určité atomy.Pokud je paprsek naskenován napříč vzorkem, může být vytvořena mapa naměřeného povrchu. V mnoha fyzikálních a chemických aplikacích se často používá věda o elektronové spektroskopii Augerové elektronové spektroskopie.Kromě identifikace prvků na površích může být použit k detekci oxidace a koroze.Teplotní odezva a související únava lze analyzovat pomocí AES.Technika může být také použita ke kontrole integrovaných obvodů pro kontaminanty, ale omezením procesu je, že často dochází k poškození povrchu testovaného materiálu.