Co je suché leptání?

Suché leptání je jedním ze dvou hlavních procesů leptání používaných v mikroelektronice a některých polovodičových zpracováních.Na rozdíl od mokrého leptání suché leptání neponoří materiál, který by měl být leptán do kapalných chemikálií.Místo toho používá plyn nebo fyzické procesy k leptání nebo vytváření malých řezaných kanálů v materiálu.Suché leptání je dražší než leptání mokré, ale umožňuje větší přesnost u typu vytvořených kanálů.Pokud musí být kanály zvláště hluboké nebo specifický tvar mdash;například s vertikálními stranami a mdash;Je požadováno suché leptání.Náklady jsou však také úvahou, protože suché leptání náklady na výrazně více než mokré leptání.obvykle se nazývá oplatka v mikroelektronickém zpracování a mdash;je pokryta nereaktivní látkou nebo maskovanou.Po maskování je materiál buď podroben typu plazmového leptání, který jej vystavuje plynné chemické látce, jako je vodíkový fluorid, nebo je podroben fyzickým procesům, jako je frézování iontového paprsku, což vytváří lept bez použití plynu.

Existují tři typy leptání v plazmě.První, reakční iontové leptání (RIE), vytváří kanály prostřednictvím chemické reakce, ke které dochází mezi ionty v plazmě a povrchem oplatky, což odstraňuje malá množství oplatky.Rie umožňuje změnu struktury kanálu, od téměř rovného až po zcela zaoblené.Druhý proces leptání v plazmě, parní fáze, se liší od RIE pouze v jednoduchém nastavení.Fáze páry však umožňuje menší změnu typu produkovaných kanálů.

Třetí technika, Etching rozprašovače, také používá ionty k leptání oplatků.Ionty ve fázi RIE a páry sedí na povrchu oplatky a reagují s materiálem.Naproti tomu leptání rozprašování bombarduje materiál ionty, aby se vyřezával specifikované kanály.Tyto vedlejší produkty mohou zabránit úplnému leptání, pokud se kondenzují na povrchu oplatky.Často jsou odstraněny jejich vrácením do plynného stavu před dokončením procesu leptání.Tento jev se nazývá anisotropie, umožňuje, aby byly kanály leptány, aniž by se reakce dotkla maskovaných oblastí oplatky.Obvykle to znamená, že reakce probíhá ve svislém směru.