Hvad er en tynd film fordamper?
En tynd film fordamper er en maskine, der bruges til at skabe tynd film.Ved at fordampe eller sublimerer forskellige elementer, kan en tynd filmdamper deponere ekstremt tynde lag af atomer eller molekyler på et substratmateriale.Maskinen består af et vakuumkammer, et varmeelement og et apparat, der holder og bevæger et underlag, mens en tynd film deponeres på det.
Der er to primære typer fordampning, der kan bruges til at skabe en tynd film.Disse er resistiv fordampning og elektronstrålefordampning.I begge disse teknikker opvarmes et målmateriale i en tynd filmdamper, indtil den enten fordamper eller sublimeres.Som gas bevæger målmaterialet sig gennem et vakuumkammer, indtil det lander på et underlag og danner en tynd film.Begge disse teknikker kræver, at målmaterialerne er lige så stabile som en gas.
Ved resistiv fordampning føres en elektrisk strøm gennem et målmateriale, der bliver varmt, da det er energisk.Med nok varme fordamper eller sublimeres målmaterialet.Guld og aluminium er almindelige målmaterialer, der kan fordampes i form af metaltråde, kaldet filamenter.Målmaterialer i form af filamenter er vanskelige at indlæse på en fordamper og kan kun arbejdes i små mængder.En tynd filmdamper kan også bruge tynde lagner af et målmateriale, som ofte er lettere at arbejde med og give flere stoffer, når de fordampes.
Nogle målmaterialer er uegnede til resistiv fordampning, fordi de kan kaste store sektioner af fast stof under processen.Hvis disse faste stoffer kolliderer med den tynde film, der dannes på underlaget, kan de ødelægge det.Inddampning af disse materialer kræver brug af en lukket opvarmningskilde, der gør det muligt for den gasformige form af materialet at flygte gennem små huller, mens de fanger sektioner af fast stof i varmekammeret.
Elektronstrålefordampning opvarmer målmaterialet ved at dirigere en stråle af højenergielektroner mod det.I denne type tyndfilm fordamper opbevares målmaterialet i en afkølet ildsted, mens det bombarderes med elektroner og opvarmes.Denne proces er nyttig til målmaterialer med en meget høj fordampningstemperatur, fordi den fokuserede energi af energi kan varme målmaterialet uden at opvarme hele apparatet.Containeren, der holder målmaterialet, udsættes ikke for ekstrem varme, så det smelter ikke eller fordamper under processen.Denne type tyndfilm fordampning kræver specifikt udstyr og kan være ret dyrt.