Hvad er reaktiv ionetsning?

Reaktiv ionetsning er en type teknologi, der bruges til mikrofabrikation til at fjerne stoffer fra skiver.Wafers er små halvlederstrimler, der bruges til oprettelse af mikrodevices, og reaktive ionetsningsteknologi sikrer, at de forbliver fri for materialer, der kan have negativ indflydelse på deres effektivitet.Mikrofabrikationsprocedurer udføres med specielt designet enheder, der præciserer det stof,Den nederste del af kammeret.Der er små huller i toppen af karret, der slipper ind gas.Forskellige typer gasser bruges, afhængigt af de individuelle krav i en bestemt skive.

Induktivt koblet plasma er en anden tilstand af denne teknologi.Med denne enhed er plasmaet udformet af et højt specialiseret magnetfelt.Det er ikke ualmindeligt at opnå høje niveauer af plasmakoncentration med denne metode.

Reaktiv ionetching -plasma er en tilstand af stof, der er kemisk reaktivt og oprettes af den mere standard radiofrekvens (RF) elektromagnetisk felt.Ioner inden for plasmaet har en usædvanlig høj mængde energi.Disse ioner reagerer på affaldet på en skive og arbejder for at fjerne defekterne på dens overflade.

Den kemiske proces, der er involveret i reaktiv ionetsning, er en mangesidet.Først sendes et betydeligt elektromagnetisk felt til waferkammeret.Feltet svinger derefter, som ioniserer molekylerne af gas i karret og fjerner deres elektroner.Dette resulterer i oprettelsen af plasmaet.

Reaktiv ionetsning er en type af en bredere kategori af fjernelse af mikrofabrikation kaldet tør ætsning.Den bruger ingen væsker i fjernelsesprocessen, i modsætning til våd ætsning, der bruger forskellige syrer og kemikalier til at opnå den samme ende.Da våd ætsningsårsager, der er underbudt til skiven, såvel som betydelige mængder giftigt affald, er tør ætsning ved at blive en mere populær metode til fjernelse af skiven.Sammenlignet med våde ætsningsteknikker er det meget dyrere på grund af det nødvendige specialudstyr.Tør ætsningsprocesser generelt er imidlertid langt mere effektive til at nå vanskeligere områder af en skive.Det er dog vigtigt at huske, at nogle job ikke kræver den minutdetalje, der leveres af denne form for ætsning, og våd ætsningsprocedurer kan udføre opgaven lige så effektivt.