Was ist DC Magnetron Sputtering?

DC -Magnetronsputter ist eine von verschiedenen Arten von Sputtern, bei der es sich um eine Methode zur Ablagerung von Dünnfilmen eines Materials auf ein anderes Material handelt.Die am häufigsten verwendeten Sputter -Abscheidungsmethoden, die 2011 verwendet werden, sind Ionenstrahl -Sputter-, Diodensputter- und DC -Magnetron -Sputter.Sputtern hat eine Vielzahl von wissenschaftlichen und industriellen Verwendungen und ist eines der am schnellsten wachsenden Produktionsprozesse in der modernen Fertigungdie Substanz.Diese Atome fliegen ab und treffen ein Zielmaterial, das als Substrat bezeichnet wird, und verbinden sich auf atomarer Ebene, wodurch ein sehr dünner Film erzeugt wird.Diese Sputterablagerung erfolgt auf atomarer Ebene, sodass der Film und das Substrat eine praktisch unzerbrechliche Bindung haben und der Prozess einen Film erzeugt, der einheitlich, extrem dünn und kostengünstig ist.Pfad der vertriebenen Atome, die zufällig um die Vakuumkammer fliegen.Die Kammer ist mit einem niedrigen Druckgas, häufig Argon, gefüllt, und mehrere Hochspannungs-Magnetron-Kathoden werden hinter dem Beschichtungsmaterialziel gelegt.Hochspannung fließt aus den Magnetronen über das Gas und erzeugt ein hohes Energieerbetrag, das das Beschichtungsmaterialziel trifft.Die durch diese Plasmaionstreiks erzeugte Kraft bewirkt, dass Atome aus dem Beschichtungsmaterial ausgeworfen und sich mit dem Substrat verbinden.Magnetrone produzieren energiereiche Magnetfelder, die positioniert und manipuliert werden können, um das erzeugte Plasma um das Substrat zu sammeln und zu enthalten.Dies zwingt die ausgestoßenen Atome zu vorhersehbaren Wegen zum Substrat.Durch die Steuerung des Pfades der Atome kann auch die Filmabscheidungsrate und -dicke vorhergesagt und kontrolliert werden.

Mithilfe von DC -Magnetronspotten können Ingenieure und Wissenschaftler Zeiten und Prozesse berechnen, die zur Erzeugung spezifischer Filmqualitäten erforderlich sind.Dies wird als Prozesskontrolle bezeichnet und ermöglicht diese Technologie von der Industrie im Massenhersteller.Zum Beispiel wird das Sputtern verwendet, um Beschichtungen für optische Objektive zu erstellen, die in Gegenständen wie Ferngläser, Teleskopen und Infrarot- und Nachtsichtgeräten verwendet werden.Die Computerindustrie verwendet CDs und DVDs, die unter Verwendung von Stipping-Prozessen hergestellt wurden. Die Halbleiterindustrie verwendet Sputtern, um viele Arten von Chips und Wafern zu beschichten.und dekorative Gegenstände werden mit diesem Prozess hergestellt.Andere Branchen, die Sputtering verwenden, sind die Luft- und Raumfahrt-, Verteidigungs- und Automobilindustrien, die medizinischen, Energie-, Beleuchtungs- und Glassindustrien und viele andere.Trotz seiner bereits weit verbreiteten Verwendung findet die Industrie weiterhin neue Verwendungen für DC Magnetron Sputtering.