Was ist die Schüttung Mikromachining?

Bulk -Mikromachining ist eine Methode, um extrem winzige mechanische oder elektrische Komponenten herzustellen.In diesem Prozess werden in der Regel Siliziumwaffeln verwendet, aber gelegentlich auch Kunststoff- oder Keramikmaterial verwendet.Die Schüttgutmikromachining beginnt mit einem festen Stück und entfernt Material, bis es seine endgültige Form erreicht, im Gegensatz zur Oberflächenmikromachining, die eine Stückschicht für Schicht baut.Die häufigste Methode zur Durchführung von Massenmikromachining ist über selektive Maskierung und feuchte chemische Lösungsmittel.Die neuere Alternative zu dieser Methode ist das Trockenätschen mit einem Plasma- oder Lasersystem, um unerwünschtes Material zu entfernen.Dies ist im Allgemeinen genauer als nasse Ätzen, aber auch teurer.Diese Komponenten könnten alles sein, von einer Diode bis zu einem Zahnrad, das die Größe einer Stiftspitze hat.Es gibt zwei wichtige Möglichkeiten, diesen Prozess auszuführen.Die Oberflächenmikromachination verwendet die einzelnen Schichten eines Siliziumwafers, um ein Stück auf einer vorhandenen Schicht zu erzeugen.Dies ist zwar ein sehr wichtiger Prozess, aber es ist schwieriger, ganz unabhängige und einzigartige Stücke zu erstellen.

Um diese Arten von Komponenten herzustellen, verwenden die Hersteller eine Massenmikromachinierung.In vielerlei Hinsicht ähnelt dies dem Schnitzen einer Statue aus Marmor, nur in einer viel kleineren Größe.Ein Siliziumwafer wird verarbeitet, um jeden Teil, der im letzten Stück unerwünscht ist, zu entfernen.Die Massenverarbeitung wird von groß nach klein, während die Oberflächenmethode von klein nach groß geht.

Die überwiegende Mehrheit der Schüttgutmikromachining verwendet Silizium.Das Material ist extrem billig, da es fast ein Viertel der Erdkruste ausmacht.Darüber hinaus besitzt es eine sehr feine kristalline Struktur, die in Schichten dünner als ein menschliches Haar zerlegen kann.Dadurch kann das Material auf mikroskopischer Ebene ebenso gut wie im makroskopischen Wert arbeiten.

Die häufigste Methode zur mikrkmikroMachinierung wird als nasse chemische Ätzen bezeichnet.Zunächst ist das Werkstück mit einem Material bedeckt, das es vor einem ausgewählten Lösungsmittel schützt.Die Schutzmaske wird dann selektiv entfernt, um die Bereiche des Stücks freizulegen.Das Werkstück ist einem Lösungsmittel ausgesetzt, das dann alle ungeschützten Bereiche auflöst und den Rest intakt bleibt.Anschließend wird das verbleibende Maskierungsmaterial entfernt.

Die neuere Methode zur Schüttgutmikromachination wird als trockenes Ätzen bezeichnet.Dies verwendet ein hochpräzises Gerät, häufig ein Laser, um unerwünschtes Material zu verdampfen.Im Vergleich zum Nassprozess sind dies mehrere weniger Schritte und ein totaler Mangel an potenziell gefährlichen Lösungsmitteln.Der Hauptgrund, warum dieser Prozess nicht beliebter ist, ist die relative Neuheit im Vergleich zur Nassmethode und die Kosten für den Kauf der Ausrüstung.