Qu'est-ce qu'une machine à pulvériser?

Une machine à pulvériser est généralement une petite chambre scellée où des particules énergiques telles que les électrons bombardent un matériau source qui éjecte les atomes de la surface.Ces atomes rebondissent ensuite sur les parois de la chambre, enrobant un échantillon d'objet à l'intérieur de la chambre.Les microscopes électroniques à balayage (SEMS), qui reposent sur la conductivité électrique des échantillons pour afficher les caractéristiques à une échelle nanométrique, s'appuient souvent sur une machine à pulvériser pour enrober les échantillons biologiques avec une fine couche de platine d'abord pour la visualisation.D'autres utilisations de la technologie de la machine à pulvériser comprennent le revêtement de films minces dans le processus de dépôt pour l'industrie des semi-conducteurs et pour gravir une couche de surface loin d'un matériau pour déterminer sa composition chimique.

Bien que les machines pour lesquelles une machine à pulvériser prépare un échantillon peut être trèsL'équipement complexe et coûteux et pulvérisant ne doit pas être.Les machines de pulvérisation peuvent être des appareils relativement simples fonctionnant sur des principes physiques établis, et manquent souvent de pièces mobiles ou le besoin de maintenance complexe.Ils varient en taille des petits appareils de table à grands modèles de plancher.

Le dépôt de vapeur physique est une méthode de routine utilisée dans la conception de la machine à pulvériser.Le matériau de dépôt est converti en vapeur dans une chambre de pulvérisation sous basse pression, généralement un vide partiel.La vapeur se condense sur le matériau du substrat dans la chambre pour former un film mince.Ce film ne peut être que plusieurs couches d'atomes ou de molécules d'épaisseur, et s'épaissira en proportion directe avec la durée du processus de pulvérisation.D'autres facteurs de l'épaisseur du flux mince comprennent la masse de chaque matériau impliqué et le niveau d'énergie des particules de revêtement, qui peuvent charger à partir de dizaines d'électrons volts jusqu'à des milliers.

Les atomes chargés appelés ions sont également utilisés par une pulvérisationmachine dans un processus connu sous le nom de pulvérisation potentielle.Le matériau de la pulvérisation reçoit une charge ionique qu'elle perd ensuite lorsqu'elle a un impact avec la surface cible.Ce processus est lié à ce processus réactif (RIE), qui utilise des matériaux naturellement ioniques dans la recherche de spectromètre de masse ionique secondaire (SIMS), pour analyser la présence d'éléments trace dans les matériaux.Le traitement des SIMS statiques pulvérisera à un rythme si fin que seul un dixième de monocouche atomique sera retiré de la surface cible.Il s'agit donc d'un autre outil utile dans la recherche en nanotechnologie, tout comme la machine à pulvériser pour le SEM.

Les autres utilisations d'une machine à pulvériser comprennent le verre plat en revêtement, les acryliques et d'autres plastiques, ainsi que la céramique et les cristaux autres que le silicium.Ils peuvent également être utilisés comme une très belle méthode de nettoyage et de polissage des composants délicats.Les bijoux et la vaisselle coûteux tels que les couverts d'or peuvent également subir un dépôt de pulvérisation, tout comme des films spécialisés en or et en aluminium.