Que sont les MEMS?

MEMS signifie micro-systèmes électro-mécaniques , se référant aux systèmes de machines fonctionnelles avec des composants mesurés en micromètres.MEMS est souvent considéré comme un tremplin entre des machines macroscopatives conventionnelles et des nanomachines futuristes.Les MEMS-Précurseurs existent depuis un certain temps sous la forme de microélectronique, mais ces systèmes sont purement électroniques, incapables de traiter ou de produire autre chose qu'une série d'impulsions électriques.Cependant, les techniques de fréquentation des MEMS modernes sont largement basées sur la même technologie utilisée pour fabriquer des circuits intégrés, c'est-à-dire des techniques de dépôt de film qui utilisent la photolithographie.Vu par les ingénieurs et les technologues comme une autre avance de bienvenue dans notre capacité à synthétiser un plus large éventail de structures physiques conçues pour effectuer des tâches utiles.Le plus souvent mentionné en conjonction avec MEMS est l'idée d'un laboratoire sur puce, un appareil qui traite de minuscules échantillons d'un produit chimique et renvoie des résultats utiles.Cela pourrait s'avérer tout à fait révolutionnaire dans le domaine du diagnostic médical, où l'analyse du laboratoire entraîne des coûts supplémentaires pour la couverture médicale, des retards de diagnostic et des documents gênants.

MEMS sont fabriqués de deux manières: soit par la micromachining de surface, dans laquelle les couches successivesdu matériau sont déposés sur une surface puis gravés pour façonner, ou par micromachinage en vrac, où le substrat lui-même est gravé pour produire un produit final.La micromachinage de surface est la plus courante car elle s'appuie sur les progrès des circuits intégrés.Unique aux MEMS, les techniques de dépôt laissent parfois des couches sacrificielles, des couches de matériau destinées à être dissoutes et emportées à la fin du processus de fabrication, laissant une structure restante.Ce processus permet à un dispositif MEMS d'avoir une structure complexe en 3 dimensions.Divers vitesses, des pompes, des capteurs, des tuyaux et des actionneurs à microscope ont été fabriqués et certains d'entre eux sont déjà intégrés dans les produits commerciaux de tous les jours.

Les exemples d'utilisation des MEM modernes comprennent des imprimantes à jet d'encre, des accéléromètres dans les automobiles, les capteurs de pression, la haute précisionL'optique, la microfluidique, la surveillance des neurones individuels, les systèmes de contrôle et la microscopie.Il n'y a actuellement pas de système de machine à microscope productif à l'ordre des lignes de montage macrosco-échelle productives, mais il semble que l'invention d'un tel appareil ne soit qu'une question de temps.La perspective de fabrication avec des MEMS est passionnante car les tableaux de ces systèmes travaillant en tangente pourraient être beaucoup plus productifs que les systèmes macroscopiens occupant le même volume et consommant la même quantité d'énergie.Une limitation importante, cependant, serait que les produits de macroscale construits par des systèmes de machines à microscope devraient être composés principalement de blocs de construction à échelle pour microscope préfabriqués.