Qu'est-ce que l'analyse des couches minces?

L'analyse en couches minces est un processus d'examen des films semi-conducteurs, le plus souvent utilisés dans la fabrication de microprocesseurs et d'applications d'énergie solaire, pour garantir que le matériau répond aux spécifications de fonctionnement.Cela se fait généralement par diverses formes de microscopie, telles que la diffraction des rayons X, l'analyse du microscope électronique à balayage, et plus encore pendant le processus de fabrication.Il est important que les films minces répondent aux normes optiques, électriques et de dépôt exigeantes pour les composants basés sur eux, ou des défauts infimes peuvent provoquer le support entier, il peut y avoir de nombreuses étapes en cours de support.La création d'un produit final à base de film mince, l'analyse du produit en cours de route peut également impliquer de nombreuses étapes.Au niveau initial du substrat de production, l'analyse des couches minces implique de regarder d'un point de vue de la science des matériaux aux propriétés du film, y compris sa conductivité, sa structure cristalline, sa composition chimique et les points d'interface pour les composants électriques tels que les transistors.Diverses formes de spectroscopie électronique sont utilisées dans cette analyse à couches minces, notamment la spectroscopie de diffusion de Rutherford (RBS) pour déterminer la composition élémentaire, la spectroscopie électronique (AES) (AES) pour analyser les caractéristiques de surface, et plus encore.Les applications, telles que les affichages de cristaux liquides, les cellules solaires et les batteries, impliquent chacune leur propre série unique d'étapes d'analyse à couches minces.La technologie à couches minces commence également à s'éloigner d'un matériau de base du silicium.Photovoltaïque flexible à film mince (PV) basé sur des composés en plastique polyvinylique pour les applications solaires, nécessite également une analyse solaire PV, et l'analyse en couches mince de ces matériaux implique un ensemble différent de processus de ceux utilisés sur le silicium.

Film solaire, non comme le film semi-conducteurUtilisé pour les microprocesseurs, subit souvent des changements environnementaux pendant l'utilisation qui nécessitent qu'il soit plus durable et durable sous la température et d'autres extrêmes.En conséquence, l'analyse en film mince des matériaux destinée aux toits solaires, par exemple, peut faire face à l'examen par de nombreuses disciplines scientifiques, de la science des matériaux à la physique appliquée, à la chimie et à l'ingénierie mécanique avant que le produit ne soit prêt à vendre.

Nanotechnologie, à la fois, les deuxEn termes d'équipement d'analyse en couches minces et de processus de fabrication, continuera de jouer un rôle clé dans le contrôle de la qualité des couches minces.Cela inclut la nécessité de faire une analyse en couches minces dans un environnement de laboratoire de salle propre exempte de soleil et la plupart des particules de poussière et aéroportées, dont chacune peut endommager irréversiblement la surface d'un film mince.Les équipements de masquage, de gravure et de dépôt utilisés pour créer le film mince en premier lieu peuvent également être utilisés pour exécuter des cas de test et analyser la qualité du produit fini ainsi que pour s'assurer que le processus est correctement calibré pour produire des produits finaux fonctionnels.