Cos'è un incisore al plasma?

Un incidente al plasma è un dispositivo che utilizza il plasma per creare i percorsi del circuito necessari per i circuiti integrati a semiconduttore.L'incisione al plasma lo fa emettendo un getto di plasma con precisione su un wafer di silicio.Quando il plasma e il wafer entrano in contatto tra loro, una reazione chimica si verifica sulla superficie del wafer.Questa reazione deposita il biossido di silicio sul wafer, creando percorsi elettrici o rimuove già il biossido di silicio già presente, lasciando solo i percorsi elettrici.

Il plasma che un incisore plasmatico utilizza viene creatoa seconda che si tratti di rimuovere o depositare il biossido di silicio.Ciò si ottiene prima creando un vuoto nell'incisione e generando un campo elettromagnetico ad alta frequenza.Quando il gas passa attraverso l'incisione, il campo elettromagnetico eccita gli atomi nel gas, facendolo surriscaldare.

Mentre i super-calcotti del gas, si rompe nei suoi atomi di componenti di base.Il calore estremo spogherà anche gli elettroni esterni da alcuni atomi, cambiandoli in ioni.Quando il gas lascia l'ugello di incisione del plasma e raggiunge il wafer, non esiste più come gas ma è diventato un getto molto sottile e surriscaldato di ioni chiamato plasma.

Se viene utilizzato un gas contenente ossigeno per creare il plasma,Reagirà con il silicio sul wafer, creando biossido di silicio, un materiale elettricamente conduttivo.Mentre il getto del plasma passa sulla superficie del wafer in modo controllato con precisione, uno strato di biossido di silicio che ricorda un film molto sottile si accumula sulla sua superficie.Al termine del processo di incisione, il wafer di silicio avrà una serie precisa di tracce di biossido di silicio.Queste tracce fungeranno da percorsi conduttivi tra i componenti di un circuito integrato. Anche gli incisori al plasma possono rimuovere il materiale dai wafer.Quando si creano circuiti integrati, ci sono casi in cui un determinato dispositivo potrebbe richiedere che più superficie del wafer sia biossido di silicio.In questo caso, è più veloce ed economico posizionare un wafer già rivestito con il materiale nell'incisione del plasma e rimuovere il biossido di silicio non necessario.

Per fare questo, l'incidente utilizza un gas a base di fluoro per creare il suo plasma.Quando il plasma di fluoro viene a contatto con il biossido di silicio che rivesti il wafer, il biossido di silicio viene distrutto in una reazione chimica.Una volta che l'incidente ha completato il suo lavoro, rimangono solo i percorsi di biossido di silicio necessari per il circuito integrato.