Cos'è la deposizione di vapore chimico?

La deposizione di vapore chimico (CVD) è un processo chimico che utilizza una camera di gas reattivo per sintetizzare materiali solidi ad alta purezza e ad alte prestazioni, come i componenti elettronici.Alcuni componenti dei circuiti integrati richiedono l'elettronica a base di polisilicio dei materiali, biossido di silicio e nitruro di silicio.Un esempio di un processo di deposizione di vapore chimico è la sintesi del silicio policristallino dal silano (Sih ₄ ), usando questa reazione:

Sih ₄ - SI + 2H ₂

nella reazione al silano, il mezzoSarebbe gas silano puro o silano con azoto al 70-80%.Utilizzando una temperatura tra 600 e 650 ° C (1100 - 1200 ° F) e una pressione tra 25 e 150 Pa Mdash;meno di un millesimo di atmosfera mdash;Il silicio puro può essere depositato ad una velocità compresa tra 10 e 20 nm al minuto, perfetto per molti componenti del circuito, il cui spessore viene misurato in micron.In generale, le temperature all'interno di una macchina per la deposizione di temperatura di vapore chimica sono elevate, mentre le pressioni sono molto basse.Le pressioni più basse, sotto i 10 − −6 ^{Pascal, sono chiamate Ultrahigh sotto vuoto.Questo è diverso dall'uso del termine aspirapolvere ultra -alto in altri campi, dove di solito si riferisce a una pressione inferiore a 10} −7 ^Pascals.

Alcuni prodotti di deposizione di vapore chimico includono silicio, fibra di carbonio, nanofibre di carbonio, filamenti,Nanotubi di carbonio, biossido di silicio, silicio-germanio, tungsteno, carburo di silicio, nitruro di silicio, ossinitruro di silicio, nitruro di titanio e diamante.I materiali che producono in serie che utilizzano la deposizione di vapore chimico possono diventare molto costosi a causa dei requisiti di alimentazione del processo, che rappresentano parzialmente il costo estremamente elevato (centinaia di milioni di dollari) di fabbriche di semiconduttori.Le reazioni di deposizione di vapore chimiche spesso lasciano sottoprodotti, che devono essere rimossi da un flusso di gas continuo.

Esistono diversi schemi di classificazione principali per i processi di deposizione di vapore chimico.Questi includono la classificazione per pressione (atmosferico, a bassa pressione o altissimo vuoto alto), caratteristiche del vapore (aerosol o iniezione di liquido diretto) o tipo di elaborazione plasmaDeposizione migliorata).