DC Magnetron Sputtering이란 무엇입니까?

DC Magnetron Sputtering은 여러 유형의 스퍼터링 중 하나이며, 이는 한 물질의 박막을 다른 재료에 대한 물리적 증기 증착 방법입니다.2011 년에 사용되는 가장 일반적인 스퍼터 증착 방법은 이온 빔 스퍼터링, 다이오드 스퍼터링 및 DC 마그네트론 스퍼터링입니다.스퍼터링은 다양한 과학 및 산업 용도를 가지고 있으며 현대식 제조에 사용되는 가장 빠르게 성장하는 생산 공정 중 하나입니다. 매우 간단히 말해서 스퍼터링은 진공 챔버에서 발생합니다.물질.이 원자들은 날아가서 기판이라고 불리는 표적 재료에 부딪 히고 원자 수준에서 결합하여 매우 박막을 만듭니다.이 스퍼터 증착은 원자 수준에서 수행되므로 필름과 기판은 사실상 깨지지 않는 결합을 가지며 공정은 균일하고 매우 얇고 비용 효율적인 필름을 생성합니다.진공 챔버 주위에 무작위로 날아가는 변위 원자의 경로.챔버는 저압 가스, 종종 아르곤으로 채워져 있으며, 몇몇 고전압 마그네트론 캐소드는 코팅 재료 표적 뒤에 배치된다.고전압은 가스를 가로 지르는 마그네트 론에서 흐르고 코팅 재료 표적에 맞는 고 에너지 혈장을 생성합니다.이들 혈장 이온 스트라이크에 의해 생성 된 힘은 원자가 코팅 물질에서 배출되고 기질과의 결합을 유발한다.마그네트 론은 기판 주위에 생성 된 혈장을 수집하고 함유하도록 위치 및 조작 할 수있는 고 에너지 자기장을 생성합니다.이것은 배출 된 원자가 예측 가능한 경로를 기판으로 이동하도록 강요한다.원자의 경로를 제어함으로써, 필름 증착 속도와 두께도 예측 및 제어 될 수있다. dc Magnetron Sputtering을 사용하면 엔지니어와 과학자는 특정 필름 품질을 생성하는 데 필요한 시간과 프로세스를 계산할 수 있습니다.이를 프로세스 제어라고하며 대량 제조 운영에서 산업 에서이 기술을 사용할 수 있습니다.예를 들어, 스퍼터링은 쌍안경, 망원경 및 적외선 및 야간 발전 장비와 같은 품목에 사용되는 광학 렌즈 용 코팅을 만드는 데 사용됩니다.컴퓨터 산업은 스플 라 터링 프로세스를 사용하여 제조 된 CD 및 DVD를 사용하며 반도체 산업은 스퍼터링을 사용하여 많은 유형의 칩과 웨이퍼를 코팅합니다.

현대식 고효율 절연 창은 스퍼터링을 사용하여 코팅 된 유리를 사용합니다.장식 품목은이 과정을 사용하여 제조됩니다.스퍼터링을 사용하는 다른 산업에는 항공 우주, 방어 및 자동차 산업, 의료, 에너지, 조명 및 유리 산업 등이 있습니다.이미 광범위한 사용에도 불구하고 업계는 DC Magnetron Sputtering에 새로운 용도를 계속 찾고 있습니다.