광학 리소그래피는 무엇입니까?

광학 리소그래피는 일반적으로 컴퓨터 칩을 만드는 데 사용되는 화학 공정입니다.실리콘으로 종종 만들어진 평평한 웨이퍼는 통합 회로를 만들기 위해 패턴으로 에칭됩니다.일반적으로,이 공정은 화학 저항 물질로 웨이퍼를 코팅하는 것을 포함합니다.그런 다음 저항을 제거하여 회로 패턴을 드러내고 표면이 에칭됩니다.저항을 제거하는 방식은 가시적 또는 자외선 (UV) 광에 광에 민감한 저항을 노출시키는 것인데, 이는 광학 리소그래피라는 용어가 시작된 곳입니다.사진과 마찬가지로,이 과정은 패턴 화 된 표면을 만들기 위해 광에 민감한 화학 물질을 빛의 빔에 노출시키는 것을 포함합니다.그러나 사진과 달리 리소그래피는 일반적으로 가시적 인 빔을 사용합니다 mdash;또는보다 일반적으로 UV Mdash;실리콘 웨이퍼에 패턴을 만들기위한 빛.

광학 리소그래피의 첫 번째 단계는 웨이퍼 표면을 화학 저항 물질로 코팅하는 것입니다.이 점성 액체는 웨이퍼에 가벼운 민감한 필름을 만듭니다.저항과 음수의 두 가지 유형이 있습니다.양의 저항은 빛에 노출되는 모든 영역에서 개발자 솔루션에 용해되는 반면, 부정적인 것은 빛에서 벗어난 영역에서 용해됩니다.음의 저항은이 과정에서 더 일반적으로 사용됩니다. 왜냐하면 개발자 솔루션에서 양성보다 왜곡 될 가능성이 적기 때문입니다.프로세스의 목표는 웨이퍼에 패턴을 만드는 것입니다. 따라서 전체 웨이퍼에서 빛이 균일하게 방출되지 않습니다.종종 유리로 만든 포토 마스크는 일반적으로 개발자가 노출을 원하지 않는 영역의 빛을 차단하는 데 사용됩니다.렌즈는 일반적으로 마스크의 특정 영역에 빛을 초점을 맞추는 데 사용됩니다.

광학 리소그래피에서 포토 마스크를 사용하는 세 가지 방법이 있습니다.먼저, 그들은 웨이퍼에 눌러 빛을 직접 차단할 수 있습니다.이것을 prin 접촉 인쇄

라고합니다.마스크 또는 웨이퍼의 결함은 저항 표면에 빛을 허용하여 패턴 해상도를 방해 할 수 있습니다.

둘째, 마스크는 웨이퍼에 가까운 상태로 유지 될 수 있지만 터치하지는 않습니다.근접 인쇄 라고하는이 프로세스는 마스크의 결함으로 인한 간섭을 줄이고 마스크가 접촉 인쇄와 관련된 여분의 마모를 피할 수 있습니다.이 기술은 마스크와 웨이퍼 사이의 빛 회절을 생성 할 수 있으며, 이는 패턴의 정밀도를 줄일 수 있습니다.이 과정은 마스크를 웨이퍼에서 더 먼 거리로 설정하지만 둘 사이의 렌즈를 사용하여 빛을 대상으로하고 확산을 줄입니다.프로젝션 프린팅은 일반적으로 가장 높은 해상도 패턴을 생성합니다.웨이퍼는 일반적으로 포지티브 또는 네거티브 저항 재료를 제거하기 위해 개발자 솔루션으로 세척됩니다.그런 다음 웨이퍼는 일반적으로 저항이 더 이상 덮이지 않는 모든 영역에서 에칭됩니다.다시 말해, 재료는 에칭에 저항합니다.이것은 웨이퍼의 일부를 에칭하고 다른 사람들은 매끄럽게합니다.