MEMS 란 무엇입니까?

MEMS는 마이크로 미터로 측정 된 구성 요소를 갖는 기능적 기계 시스템을 참조하는

마이크로 전기 기계 시스템의 약자입니다.MEMS는 종종 기존의 거시적 기계 기계와 미래의 나노 머시니 사이의 디딤돌로 여겨집니다.MEMS-Precursors는 마이크로 일렉트로닉스 형태로 한동안 주변에 있었지만, 이러한 시스템은 순수한 전자적이며 일련의 전기 충동 외에는 처리하거나 출력 할 수 없습니다.그러나 현대의 MEMS-CABRICATION 기술은 주로 통합 회로를 제조하는 데 사용되는 것과 동일한 기술, 즉 포토 리소그래피를 사용하는 필름 결정 기술을 기반으로합니다.엔지니어와 기술자가 유용한 작업을 수행하도록 설계된 더 넓은 범위의 물리적 구조를 합성 할 수있는 능력의 또 다른 환영 발전으로 간주됩니다.MEMS와 함께 가장 자주 언급 된 것은 작은 샘플을 화학 물질의 샘플을 처리하고 유용한 결과를 반환하는 장치 인 실험실 온 칩의 아이디어입니다.이는 의료 진단 분야에서 실험실 분석이 추가 비용, 진단 지연 및 불편한 서류 작업에서 상당히 혁신적인 것으로 판명 될 수 있습니다.물질의 재료는 표면에 증착 된 다음 에칭 된 다음 형성 또는 벌크 마이크로 머신을 통해 에칭된다. 여기서 기판 자체가 에칭되어 최종 생성물을 생성한다.표면 마이크로 마킹은 통합 회로의 발전을 기반으로하기 때문에 가장 일반적입니다.MEMS에 고유 한 증착 기술은 때때로 희생 층을 남겨두고 제조 과정의 끝에서 용해되고 세척되는 재료 층을 남겨두고 나머지 구조를 남깁니다.이 프로세스를 통해 MEMS 장치는 3 차원으로 복잡한 구조를 가질 수 있습니다.다양한 마이크로 스케일 기어, 펌프, 센서, 파이프 및 액추에이터가 제작되었으며 그 중 일부는 이미 일상적인 상용 제품에 통합되어 있습니다.광학, 미세 유체, 개별 뉴런의 모니터링, 대조 시스템 및 현미경.현재 생산적인 매크로 스케일 어셈블리 라인의 순서에 따른 생산적인 마이크로 스케일 머신 시스템과 같은 것은 없지만, 그러한 장치의 발명은 시간 문제 일뿐입니다.탄젠트에서 작동하는 이러한 시스템의 배열은 동일한 부피를 차지하고 동일한 양의 에너지를 소비하는 거시적 시스템보다 실질적으로 더 생산적 일 수 있기 때문에 MEMS로 제조 할 전망은 흥미 롭습니다.그러나 마이크로 스케일 머신 시스템에 의해 제작 된 거시적 제품 제품 중 하나는 주로 조립식 마이크로 스케일 빌딩 블록으로 구성되어야한다는 것입니다.