Wat is een sputtermachine?

Een sputtermachine is meestal een kleine, afgesloten kamer waar energetische deeltjes zoals elektronen een bronmateriaal bombarderen dat atomen van het oppervlak uitwerpt.Deze atomen stuiteren vervolgens van de kamerwanden en bedekten een monsterobject in de kamer.Scanning -elektronenmicroscopen (SEMS), die afhankelijk zijn van de elektrische geleidbaarheid van monsters om kenmerken op een nanometerschaal te bekijken, vertrouwen vaak op een sputtermachine om biologische monsters te coaten met een dunne laag platina eerst om te bekijken.Andere toepassingen voor sputtermachinetechnologie omvat het coaten van dunne films in het depositieproces voor de halfgeleiderindustrie en om een oppervlaktelaag weg te etsen van een materiaal om de chemische samenstelling ervan te bepalen.

Hoewel de machines waarvoor een sputtermachine een monster bereidt zeer kan zijnComplexe en duur, sputterapparatuur hoeft niet te zijn.Sputtermachines kunnen relatief eenvoudige apparaten zijn die werken op gevestigde fysieke principes en vaak ontbreken bewegende delen of de behoefte aan complex onderhoud.Het afzettingsmateriaal wordt omgezet in een damp in een sputterkamer onder lage druk, meestal een gedeeltelijk vacuüm.De damp condenseert op het substraatmateriaal in de kamer om een dunne film te vormen.Deze film kan slechts verschillende lagen atomen of moleculen dik zijn en zullen dikker worden in directe verhouding tot hoe lang het sputterproces wordt voortgezet.Andere factoren in de dunne-filmdikte zijn de massa van elk betrokken materiaal en het energieniveau van de coatingdeeltjes, die kunnen worden opgeladen uit tientallen elektronenvolt tot duizenden.

geladen atomen die bekend staan als ionen worden ook gebruikt door een sputteringmachine in een proces dat bekend staat als potentieel sputteren.Het sputtermateriaal krijgt een ionische lading die het vervolgens verliest wanneer het van invloed is op het doeloppervlak.Gerelateerd aan dit proces is reactief ionenetsen (RIE), dat van nature ionische materialen gebruikt in onderzoek naar secundaire ionenmassaspectrometer (SIMS), om de aanwezigheid van sporenelementen in materialen te analyseren.Statische sims -verwerking sputteren met zo'n fijne snelheid dat slechts een tiende van een atoommonolaag van het doeloppervlak zal worden verwijderd.Het is daarom een ander nuttig hulpmiddel in onderzoek naar nanotechnologie, net als de sputtermachine voor de SEM.

Andere toepassingen voor een sputtermachine omvatten coating plat glas, acryl- en andere kunststoffen, evenals keramiek en andere kristallen dan silicium.Ze kunnen ook worden gebruikt als een zeer fijne methode voor het reinigen en polijsten van delicate componenten.Dure sieraden en servies zoals gouden bestek kunnen ook een sputterafzetting ondergaan, net als gespecialiseerde gouden en aluminiumfilms.