Skip to main content

Wat is een dunne filmverdamper?

Een dunne filmverdamper is een machine die wordt gebruikt om dunne film te maken.Door verschillende elementen te verdampen of te sublimeren, kan een dunne filmverdamper extreem dunne lagen atomen of moleculen op een substraatmateriaal afzetten.De machine bestaat uit een vacuümkamer, een verwarmingselement en een apparaat dat een substraat vasthoudt en verplaatst terwijl een dunne film erop wordt afgezet.

Er zijn twee primaire soorten verdamping die kunnen worden gebruikt om een dunne film te maken.Dit zijn resistieve verdamping en verdamping van elektronenstraal.In beide technieken wordt een doelmateriaal verwarmd in een dunne filmverdamper totdat het verdampt of sublimeert.Als gas beweegt het doelmateriaal door een vacuümkamer totdat het op een substraat landt en een dunne film vormt.Beide technieken vereisen dat de doelmaterialen net zo stabiel zijn als een gas.

In resistieve verdamping wordt een elektrische stroom door een doelmateriaal geleid, dat heet wordt naarmate het wordt bekrachtigd.Met voldoende warmte verdampt of sublimeert het doelmateriaal.Goud en aluminium zijn veel voorkomende doelmaterialen die kunnen worden verdampt in de vorm van metalen draden, filamenten genoemd.Doelmaterialen in de vorm van filamenten zijn moeilijk te laden op een verdamper en kunnen alleen in kleine hoeveelheden worden gewerkt.Een dunne filmverdamper kan ook dunne vellen van een doelmateriaal gebruiken, die vaak gemakkelijker zijn om mee te werken en meer materie opleveren wanneer het wordt verdampt.

Sommige doelmaterialen zijn niet geschikt voor resistieve verdamping omdat ze tijdens het proces grote delen van vaste materie kunnen afwerpen.Als deze vaste stoffen botsen met de dunne film die op het substraat vormt, kunnen ze het verpesten.Het verdampen van deze materialen vereist het gebruik van een ingesloten verwarmingsbron waarmee de gasvormige vorm van het materiaal door kleine gaten kan ontsnappen terwijl secties van vaste materie in de verwarmingskamer worden vangen.

Elektronenstraalverdamping verwarmt het doelmateriaal door een straal van hoge energie -elektronen erop te sturen.In dit type dunne filmverdamper wordt het doelmateriaal in een gekoelde haard gehouden terwijl het wordt gebombardeerd met elektronen en verwarmd.Dit proces is nuttig voor doelmaterialen met een zeer hoge verdampingstemperatuur omdat de gerichte energiestraal het doelmateriaal kan verwarmen zonder het gehele apparaat te verwarmen.De container die het doelmateriaal vasthoudt, wordt niet blootgesteld aan extreme warmte, dus het smelt of verdampt niet tijdens het proces.Dit type dunne filmverdamping vereist specifieke apparatuur en kan vrij duur zijn.