Wat is dunne film sputteren?

Dunne filmsputteren is een proces waarbij een dunne film op een oppervlak wordt aangebracht door deeltjes van een afzonderlijke doelbron te slaan.Het proces vindt meestal plaats in een lagedrukkamer waarin gasvormige plasma wordt gepompt.Positief geladen ionen in deze plasma kloppen deeltjes vrij van de doelbron in een proces dat bekend staat als sputteren.Deze deeltjes reizen vervolgens naar het ontvangeroppervlak, bekend als een substraat, waar ze erop worden afgezet in de vorm van een dunne film.

De twee belangrijkste dunne film sputteringsmethoden zijn direct stroom (DC) sputeren en radiofrequentie (RF)sputteren.In DC -sputteren laadt een directe stroom positief het plasma op, terwijl RF -sputteren radiogolven gebruikt om het op te laden.Het positief geladen plasma versnelt in een negatief geladen doelwit, waarbij deeltjes van het doelmateriaal worden bevrijd die op het substraat afzetten.DC -sputteren is beperkt om te gebruiken voor geleidende materialen die een elektrische stroom kunnen bevatten, terwijl RF -sputteren ook geschikt is voor isolerende materialen.

Terwijl ze uit het doelmateriaal worden uitgeworpen, reizen de deeltjes in een rechte lijn totdat ze ergens in contact komen.Sommige van deze deeltjes worden afgezet op het oppervlak dat moet worden bekleed.gebruikt.Versneld plasma kan deeltjes van dit doelmateriaal kloppen in de vorm van individuele atomen, groepen atomen of als moleculen.Er zijn talloze soorten sputtermaterialen beschikbaar voor gebruik in verschillende toepassingen.Dunne filmsputting kan worden gebruikt om metalen of niet-metalen films te deponeren op substraten gemaakt van metaal, glas of andere materialen.

Gemeenschappelijke toepassingen met dunne filmsputteren omvatten de coating van optische instrumenten zoals telescoopspiegels en de coating van de consumentProducten zoals Compact Discs en Digital Video Discs.Elektronische halfgeleiderapparaten en fotovoltaïsche panelen worden ook vervaardigd met deze technologie.Het gebruik van dunne filmsputteren is zelfs uitgebreid naar de vervaardiging van geneesmiddelen die aan de patiënt worden toegediend in de vorm van een dunne film.

Er zijn een aantal voordelen aan het gebruik van deze methode.Dunne filmsputteren is relatief snel in vergelijking met andere vergelijkbare processen.Het zorgt ook voor een goede controle over de dikte van de afgezette film.Bovendien hoeven doelmaterialen niet te worden verwarmd zoals in verdampingsprocessen, zodat ze indien nodig op een lage temperatuur kunnen worden gehouden.