Skip to main content

Wat is Auger -elektronenspectroscopie?

Auger -elektronenspectroscopie (AES) wordt vaak gebruikt om de chemische samenstelling van een dunne, microscopische laag van een oppervlak te bepalen.Deeltjes die elektronen worden genoemd, zijn meestal gericht op het materiaal, waardoor het Auger -effect wordt geactiveerd, waarbij een elektron uit de binnenste schaal van een atoom wordt verwijderd, een deeltje op een hoger niveau is plaats en een ander elektron wordt uitgestoten.Geleid in een ultrahoge vacuüm, wordt het testen meestal uitgevoerd met een elektronenpistool, analysator, detector en gegevensrecorder.De informatie wordt meestal grafisch geanalyseerd;Het type materiaal dat wordt getest, bepaalt dat wordt gebruikt;Oxiden kunnen bijvoorbeeld afbreken als ze worden blootgesteld aan hoge niveaus van elektronen.Stoffen kunnen worden geïdentificeerd omdat de energie van een Auger -elektron meestal uniek is voor het element.In Auger -elektronenspectroscopie zijn de deeltjes die ontsnappen over het algemeen niet zo energiek als anderen.Ze moeten over het algemeen heel dicht bij het oppervlak zijn om te kunnen ontsnappen, en alle gassen die tijdens AE's aanwezig zijn, kunnen voorkomen dat het deeltje de detector bereikt.Een lens die de balk richt.De lens kan elektrostatisch of elektromagnetisch zijn;welke wordt gebruikt, hangt af van de vereiste resolutie.Een elektronenenergieanalysator die deel uitmaakt van een Auger -elektronenspectroscopietechniek kan de uitgestoten deeltjes opzoeken door hun energieniveaus.De analysator kan worden ontworpen als een cilindrische spiegel of twee hemisferische concentrische schalen.

Enkele of multi-channel detectoren worden vaak gebruikt voor Auger-elektronenspectroscopie.De gegevens worden vervolgens geanalyseerd door sets van pieken in een grafiek.Scans duren meestal een paar minuten om te voltooien, terwijl metingen met hoge resolutie tot 25 minuten kunnen duren.Een enquêtescan identificeert meestal welke elementen aanwezig zijn, terwijl een andere scan kan zien hoe geconcentreerd bepaalde atomen zijn.Als de straal over het monster wordt gescand, kan een kaart van het gemeten oppervlak worden geproduceerd.

Auger elektronenspectroscopie Wetenschap wordt vaak gebruikt in veel fysische en chemie -toepassingen.Naast het identificeren van elementen op oppervlakken, kan het ook worden gebruikt om oxidatie en corrosie te detecteren.Temperatuurrespons en gerelateerde vermoeidheid kunnen worden geanalyseerd met behulp van AE's.De techniek kan ook worden gebruikt om geïntegreerde circuits op verontreinigingen te inspecteren, maar een beperking van het proces is dat er vaak schade is aan het oppervlak van het geteste materiaal.