Wat is dunne filmverdamping?

Dunne filmverdamping is een proces van fysieke dampafzetting dat wordt gebruikt om dunne films van een materiaal te maken.Meestal gebruikt voor metalen films en zonnedaken, dunne filmverdamping maakt gebruik van verschillende technologieën om grotere delen van het materiaal in een vacuümkamer te verdampen om een dunne, zelfs laag op een oppervlak achter te laten.Het meest veelgebruikte proces van dunne filmverdamping omvat het verwarmen en verdampen van het doelmateriaal zelf, waardoor het vervolgens kan condenseren op het substraat of oppervlak, dat de dunne film ontvangt.

Dit proces begint meestal in een verzegelde vacuümkamer, dat isGeoptimaliseerd om damp- en gasvormige deeltjes op te stellen door de luchtdruk en het verdringen van andere luchtmoleculen te verminderen.Dit vermindert niet alleen de energie die nodig is om te verdampen, maar het zorgt ook voor een meer directe weg naar het afzettingsgebied omdat de dampdeeltjes niet door zoveel andere deeltjes in de kamer worden rondgekaatst.Elektronenstraaltechnieken omvatten het verwarmen van het bronmateriaal tot hoge temperaturen door het te bombarderen met een stroom elektronen, die worden geleid door een magnetisch veld.Wolfraam wordt meestal gebruikt als de bron van de elektronen en het kan meer warmte produceren voor het materiaal dan de filamentverdampingstechnieken.Hoewel elektronenstralen hogere temperaturen kunnen bereiken, kunnen ze ook onbedoelde schadelijke bijwerkingen creëren, zoals röntgenfoto's, die mogelijk de materialen in de kamer kunnen beschadigen.Verlichtingsprocessen kunnen deze effecten elimineren.

Filamentverdamping is de tweede methode voor het induceren van verdamping in het materiaal, en het omvat verwarming door resistieve elementen.Gewoonlijk wordt weerstand gecreëerd door stroom door een stabiele weerstand te voeden, voldoende warmte te genereren om te smelten en vervolgens het materiaal te verdampen.Hoewel dit proces de kans op besmetting enigszins kan vergroten, kan het snelleposities veroorzaken die gemiddeld tot ongeveer 1 nm per seconde per seconde zijn.

In vergelijking met andere methoden voor dampafzetting, zoals sputtering en chemische dampafzetting, biedt dunne filmverdamping eenWeinig belangrijke voor- en nadelen.Sommige nadelen omvatten minder oppervlakte -uniformiteit en verminderde stapdekking.Voordelen omvatten snellere depositiesnelheden, vooral in vergelijking met sputteren, en minder high-speed ionen en elektronen, die vaak voorkomen in sputteringsprocessen.