Hva er en sputteringsmaskin?

En sputteringsmaskin er vanligvis et lite, forseglet kammer der energiske partikler som elektroner bombarderer et kildemateriale som kastes ut av overflaten.Disse atomene spretter deretter av kammerveggene og belegger en prøveobjekt inne i kammeret.Skanning av elektronmikroskop (SEMS), som er avhengige av den elektriske ledningsevnen til prøver for å se funksjoner i en nanometerskala, er ofte avhengige av en sputtende maskin for å belegge biologiske prøver med et tynt lag platina først for visning.Andre bruksområder for sputteringsmaskinteknologi inkluderer belegg tynne filmer i deponeringsprosessen for halvlederindustrien og for å etse et overflatelag vekk fra et materiale for å bestemme dets kjemiske sammensetning.

Selv om maskinene som en sputteringsmaskin forbereder en prøve kan være veldigKompleks og dyrt, sputtende utstyr trenger ikke å være.Sputteringsmaskiner kan være relativt enkle enheter som opererer på etablerte fysiske prinsipper, og mangler ofte bevegelige deler eller behovet for komplekst vedlikehold.De varierer i størrelse fra små bordplater til store gulvmodeller.

Fysisk dampavsetning er en rutinemessig metode som brukes i sputteringsmaskindesign.Avsetningsmaterialet omdannes til en damp i et sputterkammer under lavt trykk, vanligvis et delvis vakuum.Dampen kondenserer på underlagsmaterialet i kammeret for å danne en tynn film.Denne filmen kan bare være flere lag med atomer eller molekyler tykke, og vil tykne i direkte andel av hvor lenge sputteringprosessen videreføres.Andre faktorer i tynnfilmtykkelse inkluderer massen til hvert involvert materiale og energinivået til beleggpartiklene, som kan lades fra titalls elektronvolt på opp til tusenvis.

ladede atomer kjent som ioner blir også brukt av en sputteringMaskin i en prosess kjent som potensiell sputtering.Sputtermaterialet får en ionisk ladning som det deretter mister når det påvirker måloverflaten.Relatert til denne prosessen er reaktiv ioneting (RIE), som benytter naturlig ioniske materialer i forskning i sekundær ionemassespektrometery (SIMS), for å analysere tilstedeværelsen av sporstoffer i materialer.Statisk sims -prosessering vil sputter til en så fin hastighet at bare en tidel av et atommonolag vil bli fjernet fra måloverflaten.Det er derfor et annet nyttig verktøy i nanoteknologiforskning, som er sputteringsmaskinen for Sem.

Andre bruksområder for en sputteringsmaskin inkluderer belegg med flatglass, akryl og annen plast, samt keramikk og andre krystaller enn silisium.De kan også brukes som en veldig fin metode for rengjøring og polering av delikate komponenter.Dyre smykker og servise som gullbestikk kan også gjennomgå en sputteravsetning, og det samme kan spesialiserte gull- og aluminiumsfilmer.