Hva er fysisk dampavsetning?

Fysisk dampavsetning (PVD) er en prosess som brukes til å lage tynne filmer ved å overføre et målmateriale til et underlag.Overføringen oppnås ved rent fysiske midler i motsetning til kjemisk dampavsetning, som bruker kjemiske reaksjoner for å skape de tynne filmene.Halvledere, datamaskinbrikker, kompakte plater (CDer) og digitale videosplater (DVDer) er vanligvis opprettet av denne prosessen.

Det er tre hovedtyper av fysisk dampavsetning: fordamping, sputtering og støping.Fordampningsteknikker begynner med å plassere målmaterialet i et vakuumkammer, noe som reduserer trykket og øker fordampningshastigheten.Materialet blir deretter oppvarmet til koking, og gasspartiklene til målmaterialet kondenserer på overflatene på kammeret, inkludert på underlaget.

De to hovedoppvarmingsmetodene for fysisk dampavsetning ved fordampning er elektronstrålens oppvarming og resistiv oppvarming.Under oppvarming av elektronstråle er en elektronstrål rettet mot et spesifikt område på målmaterialet, noe som får dette området til å varme og fordampe.Denne metoden er bra for å kontrollere de spesifikke områdene i målet som skal fordampes.Under resistiv oppvarming plasseres målmaterialet i en beholder, vanligvis laget av wolfram, og beholderen varmes opp med en høy elektrisk strøm.eller kokende.Under prosessen kjøres en strøm gjennom et gassplasma, noe som fører til at positive kationer dannes.Disse kationene bombarderer målmaterialet og slår bort små partikler som beveger seg gjennom kammeret og avsetter på underlaget.

Som fordampning, varierer sputteringsteknikker i henhold til målmaterialet.Noen vil bruke likestrøm (DC) strømkilder, mens andre vil bruke radiofrekvens (RF) strømkilder.Noen sputteringssystemer bruker også magneter for å lede bevegelsen av ionene, mens andre vil ha en mekanisme for å rotere målmaterialet.

støping er en annen hovedmetode for fysisk dampavsetning, og det brukes ofte til polymermålmaterialer og for fotolitografi.Under denne prosessen blir målmaterialet oppløst i et løsningsmiddel for å danne en væske som enten sprayes eller spunnet på underlaget.Spinning innebærer å spre væsken på det flate underlaget, som deretter blir spunnet til et jevnt lag er dannet.Når løsningsmidlet fordamper, er den tynne filmen fullført.