Hva er vakuumavsetning?

Begrepet vakuumavsetning beskriver en gruppe prosesser som er ment å legge ned individuelle partikler, spesifikt atomer og molekyler, på en overflate.Prosessene blir utført i et vakuum for å forhindre forstyrrelser eller reaksjon med gasspartikler som oksygen, som kan være svært reaktive.Et veldig tynt lag av et stoff påført en overflate blir referert til som en film, mens et tykkere lag kalles et belegg.Vakuumavsetning kan tjene mange forskjellige formål, for eksempel å avsette ledende lag til overflater eller beskytte metaller mot korrosjon.Prosessen brukes også ofte på forskjellige bildeler til forskjellige formål som å forhindre rusting og korrosjon.

De mest brukte metodene for vakuumavsetning involverer bruk av damp.Noen ganger blir stoffet som skal avsettes på overflaten fordampet;Den kondenserer senere som et lag på overflaten.I andre tilfeller reagerer det fordampede stoffet eller stoffene med overflaten for å danne ønsket film eller belegg.I noen tilfeller må andre faktorer som temperatur eller damptetthet manipuleres for å oppnå de ønskede resultatene.Disse faktorene kan påvirke tykkelsen og samholdet av laget, så det er viktig at de reguleres riktig.

Fysisk dampavsetning er vakuumavsetning der bare fysiske prosesser oppstår;Det er ingen kjemiske reaksjoner.Fysiske dampavsetningsmetoder brukes først og fremst til å dekke overflater med tynne filmer;fordampede stoffer blir kondensert på overflaten.En slik metode kalles fysisk dampavsetning av elektronstrålen.I elektronstrålens fysiske dampavsetning blir materialet som skal avsettes oppvarmet og fordampes med en elektronstråle før det kondenserer på overflaten av avsetningen.En annen vanlig metode for fysisk vakuumavsetning er sputteravsetning, der gass eller damp blir kastet ut fra en eller annen kilde og rettet mot overflaten som skal belegges.

Kjemisk dampavsetning er en form for vakuumavsetning der kjemiske prosesser brukes til å produsere denønsket film eller belegg.Gasser eller damper reagerer med overflaten de er ment å belegge i vakuum.Mange forskjellige kjemikalier, for eksempel silisiumnitrid eller polysilicon, brukes i forskjellige kjemiske dampavsetningsprosesser.

Vakuumet er en essensiell del av vakuumavsetning;Det tjener flere viktige roller.Tilstedeværelsen av et vakuum resulterer i en lav tetthet av uønskede partikler, slik at partiklene som er ment å belegge overflaten ikke reagerer eller kolliderer med noen forurensende partikler.Vakuumet lar også forskere kontrollere vakuumsammensetningen til vakuumkammeret slik at et belegg av riktig størrelse og konsistens kan produseres.