Co to jest trawnik w osoczu?

Etcher plazmowy to urządzenie, które wykorzystuje plazmę do tworzenia szlaków obwodów potrzebnych przez obwody zintegrowane półprzewodników.Nokajnik w osoczu robi to, emitując precyzyjnie celowany strumień osocza na waflu krzemu.Kiedy plazma i wafel zetkną się ze sobą, na powierzchni wafla występuje reakcja chemiczna.Ta reakcja albo osadza dwutlenek krzemu na waflu, tworząc szlaki elektryczne, lub usuwa już obecny dwutlenek krzemu, pozostawiając tylko szlaki elektryczne.

Plazma, z którego wykorzystywane jest trawienie w osoczu, jest tworzona przez nadmuchanie gazu zawierającego tlen lub fluorynę,W zależności od tego, czy chodzi o usunięcie, czy zdeponowanie dwutlenku krzemu.Odbywa się to poprzez najpierw ustanowienie próżni w trawniku i wygenerowanie pola elektromagnetycznego o wysokiej częstotliwości.Kiedy gaz przechodzi przez trawnik, pole elektromagnetyczne podnieca atomy w gazie, powodując, że staje się przegrzany.

W miarę upałów gazu rozkłada się na atomy składników podstawowych.Ekstremalne ciepło usunie również zewnętrzne elektronach z niektórych atomów, zmieniając je na jony.Zanim gaz opuszcza dyszę plazmową i dociera do wafla, nie istnieje już jako gaz, ale stał się bardzo cienkim, przegrzanym strumieniem jonów zwanych plazmą.

Jeśli gaz zawierający tlen jest używany do stworzenia plazmy,Będzie reagował z krzemionem na waflu, tworząc dwutlenek krzemu, materiał elektrycznie przewodzący.Gdy strumień osocza przechodzi nad powierzchnią wafla w precyzyjnie kontrolowany sposób, warstwa dwutlenku krzemu przypomina bardzo cienką warstwę na jego powierzchni.Po zakończeniu procesu trawienia, wafel krzemowy będzie miał na sobie precyzyjną serię krzemowych śladów dwutlenku.Ścieżki te będą służyć jako szlaki przewodzące między komponentami zintegrowanego obwodu.

Najdrów plazmy mogą również usuwać materiał z płytek.Podczas tworzenia zintegrowanych obwodów istnieją przypadki, w których dane urządzenie może wymagać większej powierzchni opłatek, aby być dwutlenkiem krzemowym niż nie.W tym przypadku jest szybsze i bardziej ekonomiczne umieszczenie wafla już pokrytego materiału do trawnika plazmatycznego i usuwanie niepotrzebnego dwutlenku krzemu. Aby to zrobić, trawnik używa gazu na bazie fluoru do tworzenia jego plazmy.Kiedy osocze fluorowe kontaktują się z dwutlenkiem krzemu, dwutlenek krzemowy jest niszczony w reakcji chemicznej.Po zakończeniu pracy wytrawki pozostają tylko szlaki dwutlenku krzemowego potrzebne do zintegrowanego obwodu.