Co to jest maszyna rozpylająca?

Maszyna rozpylająca jest zwykle małą, zamkniętą komorą, w której cząsteczki energetyczne, takie jak elektrony bombardują materiał źródłowy, który wyrzuca atomy z powierzchni.Atomy te odbijają się od ścian komory, pokrywając próbkę obiektu wewnątrz komory.Skaningowe mikroskopy elektronowe (SEMS), które opierają się na przewodności elektrycznej próbek do wyświetlania cech w skali nanometru, często polegają na maszynie rozpylającej do pokrycia próbek biologicznych za pomocą cienkiej warstwy platyny najpierw do oglądania.Inne zastosowania technologii maszyn do rozpylania obejmują powlekanie cienkich warstw w procesie osadzania dla przemysłu półprzewodnikowego i do wycięcia warstwy powierzchniowej od materiału w celu ustalenia jego składu chemicznego.

Chociaż maszyny, dla których maszyna do rozpylająca przygotowuje próbkę, może być bardzoNie musi być złożony i kosztowny sprzęt do rozpylania.Maszyny rozpylające mogą być stosunkowo prostymi urządzeniami działającymi na ustalonych zasadach fizycznych i często brakuje ruchomych części lub potrzeby złożonej konserwacji.Wystąpią one od małych stołowych urządzeń do dużych modeli podłogowych.

Fizyczne osadzanie pary to jedna rutynowa metoda stosowana w projektowaniu maszyn do rozpylania.Materiał osadzania jest przekształcany w parę w komorze rozpylającej pod niskim ciśnieniem, zwykle częściowym próżnią.Para skrapla się na materiał podłoża w komorze, tworząc cienką warstwę.Film ten może mieć tylko kilka warstw atomów lub cząsteczek i będzie zagęszcza w bezpośrednim proporcji do tego, jak długo proces rozpylania jest kontynuowany.Inne czynniki grubości cienkiej filmu obejmują masę każdego zaangażowanego materiału i poziom energii cząstek powłokowych, które mogą naładować od dziesiątek woltów elektronowych do tysięcy.

Naładowane atomy znane jako jony są również używane przez rozpylaniemaszyna w procesie znanym jako potencjalne rozpylenie.Materiał rozpylający otrzymuje ładunek jonowy, który następnie traci, gdy wpływa na powierzchnię docelową.Z tym procesem związane jest reaktywne trawienie jonów (RIE), które wykorzystuje naturalnie materiały jonowe w badaniach spektrometerycznych jonów wtórnych (SIMS) w celu analizy obecności elementów śladowych w materiałach.Przetwarzanie SIMS statyczne rozpowszechni się do tak drobnej prędkości, że tylko jedna dziesiąta monowarstwy atomowej zostanie usunięta z powierzchni docelowej.Jest to zatem kolejne przydatne narzędzie w badaniach nanotechnologii, podobnie jak maszyna do rozpylania dla SEM.

Inne zastosowania maszyny rozpylającej obejmują płaskie szkło, akryle i inne tworzywa sztuczne, a także ceramika i kryształy inne niż krzem.Mogą być również stosowane jako bardzo dobra metoda czyszczenia i polerowania delikatnych komponentów.Drogie biżuterię i zastawa stołowa, takie jak złote sztućce, mogą również ulegać osadzaniu rozpylania, podobnie jak wyspecjalizowane filmy złota i aluminium.