Co to jest cel rozpylający?

Cel rozpylający to materiał, który służy do tworzenia cienkich warstw w technice znanej jako osadzanie rozpylania lub osadzanie cienkiego warstwy.Podczas tego procesu materiał docelowy rozpylający, który zaczyna się jako stał stały, jest rozkładany przez jony gazowe na małe cząstki, które tworzą spray i pokrywają inny materiał, znany jako podłoże.Odkładanie rozpylania jest powszechnie zaangażowane w tworzenie półprzewodników i układów komputerowych.W rezultacie większość materiałów docelowych rozpylających to elementy metaliczne lub stopy, chociaż dostępne są ceramiczne cele, które wytwarzają zahartowane cienkie powłoki dla różnych narzędzi.

W zależności od charakteru tworzonego cienkiego warstwy, rozpylający cele mogą bardzo bardzo rozmiari kształt.Najmniejsze cele mogą mieć średnicę o średnicy mniejszej niż jeden cal (2,5 cm), podczas gdy największe prostokątne cele sięgają dobrze nad jednym jardem (0,9 m) długości.Niektóre urządzenia do rozpylania będą wymagały większego celu rozpylania, aw takich przypadkach producenci utworzą segmentowane cele, które są połączone specjalnymi połączeniami.

Projekty systemów rozpylania, maszyn, które prowadzą proces osadzania cienkiego warstwy, stały się znacznie bardziej zróżnicowane ikonkretny.W związku z tym kształt i struktura docelowa również zaczęły się rozszerzać w różnorodności.Kształt celu rozpylającego jest zwykle prostokątny lub okrągły, ale wielu docelowych dostawców może tworzyć dodatkowe specjalne kształty na żądanie.Niektóre systemy rozpylania wymagają obrotowego celu, aby zapewnić bardziej precyzyjną, nawet cienką warstwę.Te cele są kształtowane jak długie cylindry i oferują dodatkowe korzyści, w tym szybsze prędkości osadzania, mniejsze uszkodzenia cieplne i zwiększona powierzchnia, co prowadzi do większej ogólnej użyteczności.

Skuteczność materiałów docelowych zależy od kilku czynników, w tym ich składu i składu i składu i składuRodzaj jonów używanych do ich rozbicia.Cienkie folie, które wymagają czystych metali dla materiału docelowego, zwykle będą miały większą integralność strukturalną, jeśli cel jest tak czysty, jak to możliwe.Jony użyte do bombardowania celu rozpylającego są również ważne dla produkcji przyzwoitej cienkiej warstwy.Zasadniczo argon jest pierwotnym gazem wybranym do jonizacji i inicjowania procesu rozpylania, ale dla celów, które mają lżejsze lub cięższe cząsteczki inne szlachetne gaz, takie jak neon dla lżejszych cząsteczek lub krypton dla cięższych cząsteczek, jest bardziej skuteczny.Ważne jest, aby masa atomowa jonów gazowych była podobna do wagi docelowych cząsteczek do optymalizacji transferu energii i pędu, w ten sposób optymalizując równość cienkiej warstwy.