Co to jest odparownik cienki?

Cienki parownik to maszyna używana do tworzenia cienkiej warstwy.Przez odparowanie lub sublimowanie różnych elementów, odparowanie cienkiego warstwy może odkładać wyjątkowo cienkie warstwy atomów lub cząsteczek na materiał podłoża.Maszyna składa się z komory próżniowej, elementu grzewczego i aparatu, który trzyma i przesuwa podłoże, podczas gdy osadzana jest cienka warstwa.

Istnieją dwa podstawowe typy parowania, które można wykorzystać do stworzenia cienkiej warstwy.Są to rezystancyjne odparowanie i parowanie wiązki elektronów.W obu tych technikach materiał docelowy jest podgrzewany w odparowniku cienkiego warstwy, aż wyparuje lub sublimuje.Jako gaz docelowy materiał porusza się przez komorę próżniową, aż wyląduje na podłożu i tworzy cienką warstwę.Obie te techniki wymagają, aby materiały docelowe były tak stabilne jak gaz.

W odparowaniu rezystancyjnym prąd elektryczny przepuszczany jest przez materiał docelowy, który staje się gorący w miarę energii.Z wystarczającą ilością ciepła materiał docelowy odparowuje lub sublimuje.Złoto i aluminium są typowymi materiałami docelowymi, które można odparować w postaci drutów metalowych, zwanych włókienami.Materiały docelowe w postaci włókien są trudne do załadowania na parowniku i można je przepracować tylko w małych ilościach.Cienka parowarka może również używać cienkich arkuszy materiału docelowego, które często są łatwiejsze w pracy i przynoszą więcej materii po odparowaniu.

Niektóre materiały docelowe są nieodpowiednie do odporności rezystancyjnej, ponieważ podczas procesu mogą zrzucić duże odcinki materii stałej.Jeśli te ciała stałe zderzają się z cienką warstwą tworzącą się na podłożu, mogą je zrujnować.Parowanie tych materiałów wymaga zastosowania zamkniętego źródła grzewczego, które pozwala gazowej formie materiału na ucieczkę przez małe otwory podczas zatrzymywania odcinków istoty stałej w komorze grzewczej.

Parowanie wiązki elektronów ogrzewa materiał docelowy, kierując na nim wiązkę elektronów o wysokiej energii.W tego rodzaju odparowniku cienkiego warstwy materiał docelowy jest przechowywany w chłodzonym palenisku, podczas gdy jest bombardowany elektronami i podgrzewany.Proces ten jest przydatny w przypadku materiałów docelowych o bardzo wysokiej temperaturze parowania, ponieważ skoncentrowana wiązka energii może podgrzać materiał docelowy bez podgrzewania całego aparatu.Pojemnik trzymający materiał docelowy nie jest narażony na ekstremalne ciepło, więc nie topi się ani nie odparowuje podczas procesu.Ten rodzaj odparowania cienkiego warstwy wymaga określonego sprzętu i może być dość kosztowne.