Co to są MEMS?

MEMS oznacza systemy mikroelektromechaniczne , odnosząc się do funkcjonalnych systemów maszyn z komponentami mierzonymi w mikrometrach.MEMS jest często postrzegany jako odskocznia między konwencjonalnymi maszynami makroskali a futurystyczną nanomachineryną.MEMS-Precursors są już od jakiegoś czasu w postaci mikroelektroniki, ale systemy te są czysto elektroniczne, niezdolne do przetwarzania lub wyświetlania czegokolwiek oprócz szeregu impulsów elektrycznych.Jednak nowoczesne techniki oszałamiania MEMS są w dużej mierze oparte na tej samej technologii, którą stosuje się do produkcji zintegrowanych obwodów, to znaczy technik depozytu filmowego, które wykorzystują fotolitografię.

W dużej mierze uważane za technologię umożliwiającą, a nie koniec sam w sobie, wytwarzanie MEMS IS IS ISpostrzegane przez inżynierów i technologów jako kolejny mile widziany postęp w naszej zdolności do syntezy szerszego zakresu struktur fizycznych zaprojektowanych do wykonywania przydatnych zadań.Najczęściej wspomnianym w połączeniu z MEMS jest idea laboratorium, urządzenia, które przetwarza małe próbki chemikaliów i zwraca przydatne wyniki.Może to okazać się dość rewolucyjne w dziedzinie diagnozy medycznej, w której analiza laboratoryjna powoduje dodatkowe koszty pokrycia medycznego, opóźnień w diagnozie i niewygodne dokumenty.

MEMS są wytwarzane na dwa sposoby: poprzez mikroobariację powierzchniową, w której kolejne warstwy warstwy sąmateriału osadzają się na powierzchni, a następnie wytrawiane do kształtu lub poprzez masowe mikroobróbce, gdzie sam podłoże jest wytrawione w celu wytworzenia produktu końcowego.Mikroobrominia powierzchniowa jest najczęstsza, ponieważ opiera się na postępach obwodów zintegrowanych.Unikalne dla MEMS, techniki osadzania czasami pozostawiają warstwy ofiarne, warstwy materiału przeznaczone do rozpuszczenia i zmycia na końcu procesu wytwarzania, pozostawiając pozostałą strukturę.Ten proces pozwala urządzeniu MEMS mieć złożoną strukturę w 3 wymiarach.Różne zębate, pompy, czujniki, rurki i siłowniki mikroskalowe zostały wyprodukowane, a niektóre z nich są już zintegrowane z codziennymi produktami komercyjnymi.

Przykłady współczesnych MEMS obejmują drukarki atramentowe, akcelerometry w samochodach, czujniki ciśnienia, wysokie precyzyjneOptyka, mikroprzepływ, monitorowanie poszczególnych neuronów, systemów sterowania i mikroskopii.Obecnie nie ma czegoś takiego jak produktywny system maszyny do mikroskla na kolejność produktywnych linii montażowych Macroscale, ale wydaje się, że wynalezienie takiego urządzenia jest tylko kwestią czasu.Perspektywa produkcji z MEMS jest ekscytująca, ponieważ tablice takich systemów pracujących w stycznej mogą być znacznie bardziej produktywne niż systemy makroskali zajmujące tę samą objętość i zużywa tę samą ilość energii.Jednym z najważniejszych ograniczeń byłoby jednak, że produkty makroskalowe zbudowane przez systemy maszyn mikroskalowych musiałyby składać się głównie z prefabrykowanych mikroskali.