Co to jest trawienie na sucho?

Suchy trawienie jest jednym z dwóch głównych procesów trawienia stosowanych w mikroelektronice i przetwarzaniu półprzewodników.W przeciwieństwie do trawienia na mokro, suche trawienie nie zanurza materiału do trawienia w ciekłe chemikalia.Zamiast tego wykorzystuje procesy gazowe lub fizyczne do wytrawiania lub tworzenia małych kanałów cięć w materiale.Trawienie na sucho jest droższe niż trawienie na mokro, ale pozwala na większą precyzję w rodzaju tworzonych kanałów.

Producenci często decydują się na stosowanie technik trawienia suchego lub mokrego na podstawie precyzji wymaganej w kanałach wytrawionych.Jeśli kanały muszą być szczególnie głębokie lub o określonym kształcie mdash;takie jak posiadanie pionowych boków i mdash;Pożądane jest suche trawienie.Koszt jest jednak również rozważany, ponieważ suche trawienie kosztuje znacznie więcej niż trawienie na mokro.

Zarówno w mokrym, jak i suchym trawaniu, obszar na materiale, którego producent nie chce wytrawić i mdash;zwykle nazywany wafel w przetwarzaniu mikroelektronicznym mdash;jest pokryty substancją niereaktywną lub maskowana.Po zamaskowaniu materiał jest albo podlegany rodzajowi trawienia w osoczu, który naraża go na gazowy chemiczny fluor wodór, albo poddany procesom fizycznym, takim jak mielenie wiązki jonowej, które tworzy trawienie bez użycia gazu.

Istnieją trzy rodzaje trawienia w osoczu.Pierwszy, trawienie jonów reakcji (RIE), tworzy kanały poprzez reakcję chemiczną, która występuje między jonami w osoczu i powierzchni wafle, co usuwa niewielkie ilości wafla.RIE pozwala na zmianę struktury kanału, od prawie prosto do całkowicie zaokrąglonego.Drugi proces trawienia w osoczu, faza pary, różni się od Rie tylko w jego prostej konfiguracji.Jednak faza pary pozwala jednak na mniejszą zmianę rodzaju wytwarzanych kanałów.

Trzecia technika, trawienie rozpylania, wykorzystuje również jony do wytrawiania waflów.Jony w fazie RIE i pary znajdują się na powierzchni wafla i reagują z materiałem.Natomiast trawienie rozpylania bombarduje materiał z jonami, aby wyrzeźbić określone kanały.

Producenci muszą zawsze szybko usuwać produkty uboczne wytwarzane podczas procesu trawienia.Te produkty uboczne mogą uniemożliwić pełne trawienie, jeśli skondensują się na powierzchni waflowej.Często są one usuwane, zwracając je do stanu gazowego przed zakończeniem procesu trawienia.

Jednym z atrybutów suchego trawienia jest zdolność do wystąpienia reakcji chemicznej w jednym kierunku.To zjawisko nazywane anizotropią pozwala trawić kanałów bez reakcji dotykającej zamaskowanych obszarów wafla.Zwykle oznacza to, że reakcja ma miejsce w kierunku pionowym.