Vad är en tunn filmindunstare?

En tunn filmindunstare är en maskin som används för att skapa tunn film.Genom att avdunsta eller sublimera olika element kan en tunn filmindunstare avsätta extremt tunna skikt av atomer eller molekyler på ett substratmaterial.Maskinen består av en vakuumkammare, ett värmeelement och en apparat som håller och flyttar ett underlag medan en tunn film deponeras på den.

Det finns två primära typer av indunstning som kan användas för att skapa en tunn film.Dessa är resistiva avdunstning och elektronstråleindunstning.I båda dessa tekniker upphettas ett målmaterial i en tunn filmindunstare tills det antingen förångar eller sublimater.Som en gas rör sig målmaterialet genom en vakuumkammare tills den landar på ett underlag och bildar en tunn film.Båda dessa tekniker kräver att målmaterialen är lika stabila som en gas.

I resistiv förångning passeras en elektrisk ström genom ett målmaterial, som blir varmt när det är energiskt.Med tillräckligt med värme avdunstar eller sublimeras målmaterialet.Guld och aluminium är vanliga målmaterial som kan indunstas i form av metalltrådar, kallade filament.Målmaterial i form av filament är svåra att ladda på en förångare och kan endast arbetas i små mängder.En tunn filmindunstare kan också använda tunna ark av ett målmaterial, som ofta är lättare att arbeta med och ge mer materia när det förångas.

Vissa målmaterial är olämpliga för resistiv förångning eftersom de kan tappa stora delar av fast material under processen.Om dessa fasta ämnen kolliderar med den tunna filmen som bildas på underlaget, kan de förstöra det.Avdunstning av dessa material kräver användning av en sluten uppvärmningskälla som gör det möjligt för materialets gasformiga form att fly genom små hål medan de fångar delar av fast material i värmekammaren.

ELEKTRON BEAM EVDAPNING värmer målmaterialet genom att rikta en balk med högenergi elektroner vid det.I denna typ av tunnfilmindunstare hålls målmaterialet i en kyld härd medan den bombarderas med elektroner och upphettas.Denna process är användbar för målmaterial med en mycket hög avdunstningstemperatur eftersom den fokuserade energistrålen kan värma målmaterialet utan att värma hela apparaten.Behållaren som innehar målmaterialet utsätts inte för extrem värme, så det smälter inte eller avdunstas under processen.Denna typ av tunnfilmindunstning kräver specifik utrustning och kan vara ganska kostsam.