Vad är fysisk ångavsättning?

Fysisk ångavsättning (PVD) är en process som används för att skapa tunna filmer genom att överföra ett målmaterial till ett underlag.Överföringen uppnås med rent fysiska medel till skillnad från kemisk ångavsättning, som använder kemiska reaktioner för att skapa de tunna filmerna.Halvledare, datorchips, kompakta skivor (CD -skivor) och digitala videodiskar (DVD) skapas vanligtvis genom denna process.

Det finns tre huvudtyper av fysisk ångavsättning: avdunstning, sputtering och gjutning.Avdunstningstekniker börjar med att placera målmaterialet i en vakuumkammare, vilket minskar trycket och ökar avdunstningshastigheten.Materialet upphettas sedan till kokning, och de gasformiga partiklarna i målmaterialkondensen på kammarens ytor, inklusive på underlaget.

De två huvudvärmningsmetoderna för fysisk ångavsättning genom indunstning är elektronstrålvärme och resistiv uppvärmning.Under elektronstråle uppvärmning riktas en stråle av elektroner mot ett specifikt område på målmaterialet, vilket får det området att värma och avdunsta.Denna metod är bra för att kontrollera de specifika områdena i målet som ska avdunsta.Under resistiv uppvärmning placeras målmaterialet i en behållare, vanligtvis tillverkat av volfram, och behållaren värms upp med en hög elektrisk ström.Metoden för uppvärmning som används under förångning Fysisk ångavsättning varierar beroende på målmaterialets natur.eller kokning.Under processen körs en ström genom en gasplasma, vilket får positiva katjoner att bildas.Dessa katjoner bombarderar målmaterialet och slår bort små partiklar som reser genom kammaren och avsätter på underlaget.

Som förångning varierar sputteringstekniker beroende på målmaterial.Vissa kommer att använda likström (DC) kraftkällor, medan andra kommer att använda radiofrekvens (RF) kraftkällor.Vissa sputteringssystem använder också magneter för att rikta jonernas rörelse, medan andra kommer att ha en mekanism för att rotera målmaterialet.

Gjutning är en annan huvudmetod för fysisk ångavsättning, och den används oftast för polymermål och för fotolitografi..Under denna process löses målmaterialet i ett lösningsmedel för att bilda en vätska som antingen sprayas eller snurras på underlaget.Spinning involverar spridning av vätskan på det platta underlaget, som sedan snurras tills ett jämnt skikt bildas.När lösningsmedlet förångas är den tunna filmen klar.