แอพพลิเคชั่นที่แตกต่างกันของซิลิกอนฟิล์มบาง ๆ ?

มีวิธีการต่าง ๆ หลายสิบวิธีสำหรับการสะสมซิลิกอนฟิล์มบาง ๆ แต่โดยทั่วไปแล้วพวกเขาสามารถแบ่งออกเป็นสามประเภทมีกระบวนการสะสมปฏิกิริยาทางเคมีเช่นการสะสมไอเคมี, epitaxy ลำแสงโมเลกุลและ electrodepositionการสะสมไอทางกายภาพเป็นกระบวนการสะสมที่เกิดปฏิกิริยาทางกายภาพเพียงอย่างเดียวนอกจากนี้ยังมีกระบวนการไฮบริดที่ใช้ทั้งวิธีการทางกายภาพและทางเคมีซึ่งรวมถึงการสะสมสปัตเตอร์และวิธีการปล่อยก๊าซหรือเรืองแสง

การสะสมไอทางกายภาพเกี่ยวข้องกับความหลากหลายของเทคโนโลยีสปัตเตอร์ที่ใช้และเกี่ยวข้องกับการระเหยวัสดุจากแหล่งกำเนิดฟิล์มบาง ๆ เลเยอร์ซิลิกอนไปยังสารตั้งต้นเป้าหมายวัสดุแหล่งที่มาระเหยในห้องสูญญากาศทำให้อนุภาคกระจายตัวและเคลือบพื้นผิวทั้งหมดในห้องอย่างเท่าเทียมกันทั้งสองวิธีการสะสมไอทางกายภาพใช้สำหรับสิ่งนี้คือคานอิเล็กตรอนหรืออีคานอิเล็กทรอนิกส์เพื่อให้ความร้อนและระเหยวัสดุต้นฉบับหรือการระเหยแบบต้านทานโดยใช้กระแสไฟฟ้าสูงSputter Deposition ใช้สูญญากาศบางส่วนที่เต็มไปด้วยก๊าซเฉื่อย แต่ยังมีไอออนเช่นอาร์กอนและไอออนที่มีประจุจะถูกดึงดูดไปยังวัสดุเป้าหมายที่ใช้ซึ่งจะแยกอะตอมที่แยกออกจากกันมีการสปัตเตอร์ประเภทต่าง ๆ มากมายรวมถึงไอออนปฏิกิริยา, แมกนีตรอนและคานคานสปัตเตอร์ซึ่งเป็นรูปแบบทั้งหมดเกี่ยวกับวิธีการทิ้งระเบิดไอออนของวัสดุต้นฉบับที่ทำ

การสะสมไอสารเคมีเป็นหนึ่งในกระบวนการที่ใช้กันมากที่สุดที่ใช้ในการผลิตบางฟิล์มซิลิคอนและมีความแม่นยำมากกว่าวิธีการทางกายภาพเครื่องปฏิกรณ์เต็มไปด้วยก๊าซที่หลากหลายซึ่งมีปฏิสัมพันธ์ซึ่งกันและกันเพื่อผลิตผลพลอยได้จากที่ของแข็งที่ควบแน่นบนพื้นผิวทั้งหมดในเครื่องปฏิกรณ์ซิลิกอนฟิล์มบางที่ผลิตในลักษณะนี้อาจมีลักษณะที่สม่ำเสมอและมีความบริสุทธิ์สูงมากซึ่งทำให้วิธีนี้มีประโยชน์สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เช่นเดียวกับในการผลิตสารเคลือบด้วยแสงข้อเสียเปรียบคือวิธีการสะสมประเภทนี้อาจค่อนข้างช้ามักจะต้องใช้ห้องเครื่องปฏิกรณ์ที่ทำงานที่อุณหภูมิสูงถึง 2,012 DEG;Fahrenheit (1,100 deg; Celsius) และใช้ก๊าซที่เป็นพิษมากเช่นไซเลน

แต่ละกระบวนการของการสะสมที่แตกต่างกันจะต้องได้รับการพิจารณาเมื่อผลิตซิลิกอนฟิล์มบาง ๆ.ห้องไอออนปฏิกิริยาก่อนถูกระงับจากพื้นห้องแล็บเพื่อแยกพวกเขาเนื่องจากพวกเขาจะต้องถูกเรียกเก็บเงินถึง 50,000 โวลต์และสามารถใช้อุปกรณ์คอมพิวเตอร์สั้น ๆ ได้แม้ว่าพวกเขาจะนั่งอยู่บนคอนกรีตใกล้เคียงท่อทองแดงขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางสิบสองนิ้วที่วิ่งจากเครื่องปฏิกรณ์เหล่านี้ไปสู่ข้อเท็จจริงด้านล่างพื้นการผลิตเป็นที่รู้จักกันในนามของพระเยซูไม้โดยคนงานในห้องปฏิบัติการโดยอ้างอิงถึงความจริงที่ว่าใครก็ตามที่สัมผัสมันจะพูดคุยกับพระเยซูเพราะมันจะฆ่าเขาหรือของเธอ.ผลิตภัณฑ์เช่นเซลล์แสงอาทิตย์ที่ไวต่อสีย้อมมีวิธีการใหม่ที่มีอันตรายน้อยกว่าและราคาไม่แพงในการผลิตฟิล์มบางเนื่องจากพวกเขาไม่ต้องการสารตั้งต้นของซิลิคอนเซมิคอนดักเตอร์ที่แม่นยำและสามารถผลิตได้ที่อุณหภูมิต่ำกว่า 248 DEG;Fahrenheit (120 deg; Celsius).