พลาสมา Etcher คืออะไร?

ether พลาสมา Etcher เป็นอุปกรณ์ที่ใช้พลาสมาเพื่อสร้างเส้นทางวงจรที่จำเป็นโดยวงจรรวมเซมิคอนดักเตอร์Plasma Etcher ทำสิ่งนี้โดยการเปล่งเจ็ทพลาสมาที่มุ่งเป้าไปที่เวเฟอร์ซิลิคอนอย่างแม่นยำเมื่อพลาสมาและเวเฟอร์เข้ามาสัมผัสกันปฏิกิริยาทางเคมีจะเกิดขึ้นที่พื้นผิวของเวเฟอร์ปฏิกิริยานี้จะสะสมซิลิกอนไดออกไซด์บนเวเฟอร์สร้างเส้นทางไฟฟ้าหรือกำจัดซิลิกอนไดออกไซด์แล้วออกไปจากทางไฟฟ้าเท่านั้น

พลาสมาที่พลาสมาเอ็ตเชอร์ใช้ถูกสร้างขึ้นโดยความร้อนสูงขึ้นอยู่กับว่าจะลบหรือฝากซิลิคอนไดออกไซด์สิ่งนี้สามารถทำได้โดยการสร้างสุญญากาศครั้งแรกใน Etcher และสร้างสนามแม่เหล็กไฟฟ้าความถี่สูงเมื่อก๊าซผ่าน Etcher สนามแม่เหล็กไฟฟ้าจะกระตุ้นอะตอมในก๊าซทำให้มันกลายเป็นความร้อนสูงที่สุด

ในฐานะที่เป็นก๊าซซุปเปอร์ความร้อนมันจะแบ่งออกเป็นอะตอมส่วนประกอบพื้นฐานความร้อนที่รุนแรงจะกำจัดอิเล็กตรอนด้านนอกออกจากอะตอมบางส่วนออกไปเปลี่ยนเป็นไอออนเมื่อถึงเวลาที่ก๊าซออกจากหัวฉีด etcher ในพลาสมาและมาถึงเวเฟอร์มันจะไม่มีอยู่อีกต่อไปในฐานะก๊าซ แต่กลายเป็นไอออนไอออนที่มีความร้อนสูงและมีความร้อนสูงมากที่เรียกว่าพลาสมา

หากก๊าซที่มีออกซิเจนถูกใช้เพื่อสร้างพลาสมามันจะทำปฏิกิริยากับซิลิคอนบนเวเฟอร์สร้างซิลิกอนไดออกไซด์ซึ่งเป็นวัสดุนำไฟฟ้าเมื่อเจ็ทของพลาสมาผ่านพื้นผิวของเวเฟอร์ในลักษณะที่ควบคุมได้อย่างแม่นยำชั้นของซิลิกอนไดออกไซด์คล้ายกับฟิล์มบาง ๆ ที่สร้างขึ้นบนพื้นผิวของมันเมื่อกระบวนการแกะสลักเสร็จสมบูรณ์เวเฟอร์ซิลิคอนจะมีซีรีส์ที่แม่นยำของแทร็กซิลิกอนไดออกไซด์ข้ามมันแทร็กเหล่านี้จะทำหน้าที่เป็นเส้นทางนำไฟฟ้าระหว่างส่วนประกอบของวงจรรวม

etchers พลาสมาสามารถลบวัสดุออกจากเวเฟอร์เมื่อสร้างวงจรรวมมีอินสแตนซ์ที่อุปกรณ์ที่กำหนดอาจต้องใช้พื้นที่ผิวของแผ่นเวเฟอร์ให้เป็นซิลิกอนไดออกไซด์มากกว่าไม่ในกรณีนี้มันเร็วขึ้นและประหยัดกว่าที่จะวางเวเฟอร์ที่เคลือบด้วยวัสดุลงในพลาสมา etcher และกำจัดซิลิคอนไดออกไซด์ที่ไม่จำเป็น

ในการทำเช่นนี้ Etcher ใช้ก๊าซฟลูออรีนเพื่อสร้างพลาสมาเมื่อพลาสมาฟลูออรีนสัมผัสกับซิลิคอนไดออกไซด์เคลือบเวเฟอร์ซิลิกอนไดออกไซด์จะถูกทำลายในปฏิกิริยาเคมีเมื่อ Etcher เสร็จสิ้นการทำงานของมันจะมีเพียงเส้นทางซิลิกอนไดออกไซด์ที่ต้องการโดยวงจรรวมยังคงอยู่