สปัตเตอร์ริ่งเป็นกระบวนการของการสะสมฟิล์มบางซึ่งวัสดุเป้าหมายที่เป็นของแข็งถูกปล่อยออกมาบนพื้นผิวของสารตั้งต้นเพื่อสร้างการเคลือบแบบบาง ระบบสปัตเตอร์เป็นเครื่องที่กระบวนการสปัตเตอร์เกิดขึ้น มันมีกระบวนการทั้งหมดและช่วยให้ผู้ใช้ปรับอุณหภูมิพลังงานความดันเป้าหมายและวัสดุพื้นผิว
สปัตเตอร์เป็นที่รู้จักกันในชื่อการสะสมไอทางกายภาพเพราะฟิล์มบาง ๆ ถูกสร้างขึ้นโดยวิธีการทางกายภาพมากกว่าผ่านปฏิกิริยาทางเคมี ในระบบสปัตเตอร์ห้องสูญญากาศบรรจุวัสดุเป้าหมายแหล่งพลังงานและพลาสมาแก๊ส ก๊าซซึ่งมักจะเป็นก๊าซมีตระกูลเช่นอาร์กอนถูกนำเข้าไปในห้องด้วยความดันต่ำมากเพื่อเริ่มกระบวนการ
แหล่งพลังงานสร้างอิเล็กตรอนที่ถล่มพลาสมาแก๊สและอิเล็กตรอนเหล่านี้เตะอิเล็กตรอนตัวอื่นออกไปในก๊าซ สิ่งนี้ทำให้เกิดก๊าซไอออไนซ์และก่อตัวเป็นไอออนบวกที่เรียกว่าไอออนบวก ไพเพอร์เหล่านี้จะกระหน่ำยิงวัตถุเป้าหมายกระแทกชิ้นเล็ก ๆ ที่เคลื่อนที่ผ่านห้องและวางลงบนพื้นผิว กระบวนการนี้จะชุลมุนได้อย่างง่ายดายในห้องระบบสปัตเตอร์เนื่องจากอิเล็กตรอนอิสระจะถูกปลดปล่อยในระหว่างการไอออไนซ์ของพลาสมาแก๊ส
ระบบสปัตเตอร์แตกต่างกันไปในแง่ของโครงสร้างแหล่งพลังงานขนาดและราคา การวางแนวของวัสดุเป้าหมายและวัสดุพิมพ์เฉพาะสำหรับแต่ละเครื่อง ระบบบางระบบจะเผชิญกับวัสดุเป้าหมายขนานกับพื้นผิวของวัสดุพิมพ์ในขณะที่ระบบอื่นจะเอียงพื้นผิวทั้งสองเพื่อสร้างรูปแบบการสะสมที่แตกต่างกัน ยกตัวอย่าง Confocal Sputtering orients หน่วยของวัสดุเป้าหมายในวงกลมที่ชี้ไปยังจุดโฟกัส สารตั้งต้นในระบบประเภทนี้สามารถหมุนได้เพื่อการสะสมที่มากยิ่งขึ้น
แหล่งพลังงานยังแตกต่างกันไปเนื่องจากบางระบบใช้พลังงานไฟฟ้ากระแสตรง (DC) ในขณะที่บางระบบใช้พลังงานคลื่นความถี่วิทยุ (RF) ระบบสปัตเตอร์ชนิดหนึ่งที่รู้จักกันในชื่อแมกนีตรอนสปัตติ้งยังรวมถึงแม่เหล็กเพื่อทำให้อิเล็กตรอนอิสระมีเสถียรภาพ วิธีการเหล่านี้ทำให้ระบบสปัตเตอร์มีคุณสมบัติที่แตกต่างกันเกี่ยวกับอุณหภูมิและความเร็วของการทับถม
ระบบการสปัตเตอร์มีขนาดตั้งแต่ระบบเดสก์ท็อปไปจนถึงเครื่องจักรขนาดใหญ่ที่ใหญ่กว่าตู้เย็น ห้องด้านในก็มีขนาดแตกต่างกันไป แต่โดยทั่วไปแล้วจะมีขนาดเล็กกว่าตัวเครื่องมาก ห้องส่วนใหญ่มีขนาดเล็กกว่า 1 หลา (ประมาณ 1 เมตร) ค่าใช้จ่ายของระบบสปัตเตอร์มีตั้งแต่น้อยกว่า $ 20,000 US Dollar (USD) ที่ใช้ไปจนถึงสูงกว่า $ 650,000 USD สำหรับระบบที่ออกแบบใหม่หรือแบบกำหนดเอง
