เป้าหมายสปัตเตอร์คืออะไร?

เป้าหมายสปัตเตอร์เป็นวัสดุที่ใช้ในการสร้างฟิล์มบาง ๆ ในเทคนิคที่เรียกว่าการสะสมสปัตเตอร์หรือการสะสมของฟิล์มบางในระหว่างกระบวนการนี้วัสดุเป้าหมายสปัตเตอร์ซึ่งเริ่มต้นเป็นของแข็งจะถูกทำลายโดยไอออนก๊าซเป็นอนุภาคเล็ก ๆ ที่ก่อตัวเป็นสเปรย์และเคลือบวัสดุอื่นซึ่งเรียกว่าสารตั้งต้นการสะสมสปัตเตอร์มักเกี่ยวข้องกับการสร้างเซมิคอนดักเตอร์และชิปคอมพิวเตอร์เป็นผลให้วัสดุเป้าหมายส่วนใหญ่สปัตเตอร์ส่วนใหญ่เป็นองค์ประกอบโลหะหรือโลหะผสมแม้ว่าจะมีเป้าหมายเซรามิกบางอย่างที่สร้างการเคลือบบาง ๆ ที่แข็งตัวสำหรับเครื่องมือต่าง ๆ

ขึ้นอยู่กับธรรมชาติของฟิล์มบางที่ถูกสร้างขึ้นและรูปร่าง.เป้าหมายที่เล็กที่สุดอาจมีเส้นผ่านศูนย์กลางน้อยกว่าหนึ่งนิ้ว (2.5 ซม.) ในขณะที่เป้าหมายรูปสี่เหลี่ยมที่ใหญ่ที่สุดเข้าถึงได้ดีกว่าหนึ่งหลา (0.9 เมตร)อุปกรณ์สปัตเตอร์บางอย่างจะต้องใช้เป้าหมายการสปัตเตอร์ที่ใหญ่ขึ้นและในกรณีเหล่านี้ผู้ผลิตจะสร้างเป้าหมายที่แบ่งกลุ่มซึ่งเชื่อมต่อกันด้วยข้อต่อพิเศษ

การออกแบบระบบสปัตเตอร์เครื่องจักรที่ดำเนินกระบวนการสะสมฟิล์มบาง ๆเฉพาะเจาะจง.ดังนั้นรูปร่างและโครงสร้างเป้าหมายก็เริ่มกว้างขึ้นในความหลากหลายเช่นกันรูปร่างของเป้าหมายสปัตเตอร์มักจะเป็นรูปสี่เหลี่ยมผืนผ้าหรือแบบวงกลม แต่ซัพพลายเออร์เป้าหมายจำนวนมากสามารถสร้างรูปร่างพิเศษเพิ่มเติมได้ตามคำขอระบบสปัตเตอร์บางอย่างต้องการเป้าหมายการหมุนเพื่อให้ฟิล์มบางที่แม่นยำยิ่งขึ้นเป้าหมายเหล่านี้มีรูปร่างเหมือนกระบอกสูบยาวและให้ประโยชน์เพิ่มเติมรวมถึงความเร็วการสะสมที่เร็วขึ้นความเสียหายจากความร้อนน้อยลงและพื้นที่ผิวที่เพิ่มขึ้นซึ่งนำไปสู่ยูทิลิตี้โดยรวมที่มากขึ้น

ประสิทธิภาพของวัสดุเป้าหมายสปัตเตอร์ขึ้นอยู่กับปัจจัยหลายประการรวมถึงองค์ประกอบและองค์ประกอบของพวกเขาประเภทของไอออนที่ใช้ทำลายมันลงฟิล์มบางที่ต้องการโลหะบริสุทธิ์สำหรับวัสดุเป้าหมายมักจะมีความสมบูรณ์ของโครงสร้างมากขึ้นหากเป้าหมายบริสุทธิ์ที่สุดเท่าที่จะทำได้ไอออนที่ใช้ในการทิ้งระเบิดเป้าหมายสปัตเตอร์ก็มีความสำคัญต่อการผลิตฟิล์มบางคุณภาพดีโดยทั่วไปอาร์กอนเป็นก๊าซหลักที่เลือกให้เป็นไอออนและเริ่มต้นกระบวนการสปัตเตอร์ แต่สำหรับเป้าหมายที่มีโมเลกุลที่เบากว่าหรือหนักกว่าก๊าซมีค่าที่แตกต่างกันเช่นนีออนสำหรับโมเลกุลที่เบากว่าหรือ Krypton สำหรับโมเลกุลที่หนักกว่านั้นมีประสิทธิภาพมากกว่ามันเป็นสิ่งสำคัญสำหรับน้ำหนักอะตอมของไอออนของก๊าซที่จะคล้ายกับโมเลกุลเป้าหมายสปัตเตอร์เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการถ่ายโอนพลังงานและโมเมนตัมซึ่งจะเป็นการปรับความสม่ำเสมอของฟิล์มบาง ๆ