DC Magnetron Sputtering คืออะไร?

DC Magnetron Sputtering เป็นหนึ่งในหลายประเภทของการสปัตเตอร์ซึ่งเป็นวิธีการสะสมไอทางกายภาพของฟิล์มบาง ๆ ของวัสดุหนึ่งบนวัสดุอื่นวิธีการสะสมสปัตเตอร์ที่ใช้กันมากที่สุดที่ใช้ในปี 2011 คือการสปัตเตอร์ลำแสงไอออน, ไดโอดสปัตเตอร์และการสปัตเตอร์ DC Magnetronการสปัตเตอร์มีการใช้งานทางวิทยาศาสตร์และอุตสาหกรรมที่หลากหลายและเป็นหนึ่งในกระบวนการผลิตที่เติบโตเร็วที่สุดที่ใช้ในการผลิตที่ทันสมัย

ง่ายมากการสปัตเตอร์เกิดขึ้นในห้องสูญญากาศซึ่งสารถูกทิ้งระเบิดด้วยโมเลกุลก๊าซไอออไนซ์สารอะตอมเหล่านี้บินออกไปและตีวัสดุเป้าหมายที่เรียกว่าสารตั้งต้นและยึดติดกับมันในระดับอะตอมสร้างฟิล์มบางมากการสะสมสปัตเตอร์นี้ทำในระดับอะตอมดังนั้นฟิล์มและสารตั้งต้นจึงมีพันธะที่ไม่สามารถแตกหักได้และกระบวนการสร้างภาพยนตร์ที่มีความสม่ำเสมอบางและคุ้มค่ามากเส้นทางของอะตอมที่พลัดถิ่นที่บินแบบสุ่มรอบห้องสูญญากาศห้องนั้นเต็มไปด้วยก๊าซแรงดันต่ำอาร์กอนบ่อยครั้งและแคโทดแมกนีตรอนแรงดันสูงหลายตัวจะถูกวางไว้ด้านหลังเป้าหมายวัสดุเคลือบแรงดันไฟฟ้าสูงไหลจาก magnetrons ข้ามก๊าซและสร้างพลาสมาพลังงานสูงที่นัดเป้าหมายวัสดุการเคลือบแรงที่เกิดจากพลาสมาไอออนเหล่านี้ทำให้เกิดอะตอมในการขับออกจากวัสดุเคลือบและพันธะกับสารตั้งต้น

อะตอมที่ถูกขับออกมาในกระบวนการสปัตเตอร์มักจะบินผ่านห้องในรูปแบบสุ่มMagnetrons ผลิตสนามแม่เหล็กพลังงานสูงที่สามารถวางตำแหน่งและจัดการเพื่อรวบรวมและมีพลาสมาที่สร้างขึ้นรอบ ๆ พื้นผิวสิ่งนี้บังคับให้อะตอมที่ถูกขับออกไปเพื่อเดินทางเส้นทางที่คาดการณ์ได้ไปยังสารตั้งต้นด้วยการควบคุมเส้นทางของอะตอมอัตราการสะสมของฟิล์มและความหนาสามารถทำนายและควบคุมได้

การใช้ DC Magnetron sputtering ช่วยให้วิศวกรและนักวิทยาศาสตร์สามารถคำนวณเวลาและกระบวนการที่จำเป็นในการสร้างคุณภาพฟิล์มที่เฉพาะเจาะจงสิ่งนี้เรียกว่าการควบคุมกระบวนการและช่วยให้เทคโนโลยีนี้สามารถใช้งานโดยอุตสาหกรรมในการดำเนินงานการผลิตจำนวนมากตัวอย่างเช่นการสปัตเตอร์ใช้เพื่อสร้างการเคลือบสำหรับเลนส์ออปติคัลที่ใช้ในรายการเช่นกล้องส่องทางไกลกล้องโทรทรรศน์และอุปกรณ์อินฟราเรดและการมองเห็นตอนกลางคืนอุตสาหกรรมคอมพิวเตอร์ใช้ซีดีและดีวีดีที่ผลิตขึ้นโดยใช้กระบวนการสาดกระเซ็นและอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ใช้สปัตเตอร์เพื่อเคลือบชิปและเวเฟอร์หลายประเภท

หน้าต่างฉนวนประสิทธิภาพสูงที่ทันสมัยใช้กระจกที่เคลือบโดยใช้สปัตเตอร์และฮาร์ดแวร์จำนวนมากและรายการตกแต่งผลิตโดยใช้กระบวนการนี้อุตสาหกรรมอื่น ๆ ที่ใช้สปัตเตอร์รวมถึงอุตสาหกรรมการบินและอวกาศการป้องกันและยานยนต์อุตสาหกรรมการแพทย์พลังงานแสงและกระจกและอื่น ๆ อีกมากมายแม้จะมีการใช้งานในวงกว้าง แต่อุตสาหกรรมยังคงหาประโยชน์ใหม่สำหรับ DC Magnetron Sputtering