พลาสมาสปัตเตอร์คืออะไร?

พลาสมาสปัตเตอร์เป็นเทคนิคที่ใช้ในการสร้างฟิล์มบาง ๆ ของสารต่าง ๆในระหว่างกระบวนการสปัตเตอร์พลาสมาวัสดุเป้าหมายในรูปแบบของก๊าซจะถูกปล่อยออกสู่ห้องสูญญากาศและสัมผัสกับสนามแม่เหล็กที่มีความเข้มสูงฟิลด์ฟิลด์นี้ทำให้อะตอมโดยให้ประจุไฟฟ้าเชิงลบเมื่ออนุภาคถูกทำให้เป็นไอออนพวกเขาจะลงจอดบนวัสดุพื้นผิวและเรียงลำดับขึ้นทำให้เกิดฟิล์มบาง ๆ พอที่จะวัดระหว่างอนุภาคไม่กี่และไม่กี่ร้อยฟิล์มบางเหล่านี้ใช้ในอุตสาหกรรมต่าง ๆ หลายแห่งรวมถึงเลนส์อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และพลังงานแสงอาทิตย์

ในระหว่างกระบวนการสปัตเตอร์พลาสมาแผ่นพื้นผิวจะถูกวางไว้ในห้องสูญญากาศสารตั้งต้นนี้อาจประกอบด้วยวัสดุที่แตกต่างกันจำนวนมากรวมถึงโลหะอะคริลิคแก้วหรือพลาสติกประเภทของสารตั้งต้นถูกเลือกตามการใช้ฟิล์มบาง ๆ ที่ตั้งใจไว้

พลาสม่าสปัตเตอร์จะต้องทำในห้องสูญญากาศการปรากฏตัวของอากาศในระหว่างกระบวนการสปัตเตอร์พลาสมาจะทำให้เป็นไปไม่ได้ที่จะฝากฟิล์มของอนุภาคชนิดเดียวลงบนพื้นผิวเนื่องจากอากาศมีอนุภาคหลายชนิดรวมถึงไนโตรเจนออกซิเจนและคาร์บอนหลังจากวางสารตั้งต้นไว้ในห้องอากาศจะถูกดูดออกอย่างต่อเนื่องเมื่ออากาศในห้องหายไปวัสดุเป้าหมายจะถูกปล่อยเข้าไปในห้องในรูปแบบของก๊าซ

เฉพาะอนุภาคที่มีความเสถียรในรูปแบบก๊าซสามารถเปลี่ยนเป็นฟิล์มบาง ๆ ผ่านการใช้พลาสมาสปัตเตอร์ฟิล์มบางประกอบด้วยองค์ประกอบโลหะเดียวเช่นอลูมิเนียมเงินโครเมียมทองคำแพลตตินัมหรือโลหะผสมของสิ่งเหล่านี้มักถูกสร้างขึ้นโดยใช้กระบวนการนี้แม้ว่าจะมีฟิล์มบางประเภทอื่น ๆ อีกมากมาย แต่กระบวนการสปัตเตอร์พลาสมานั้นเหมาะสมที่สุดกับอนุภาคประเภทนี้เมื่ออนุภาคเข้ามาในห้องสูญญากาศพวกเขาจะต้องถูกทำให้เป็นไอออนก่อนที่พวกเขาจะตั้งถิ่นฐานบนวัสดุพื้นผิว

แม่เหล็กที่ทรงพลังใช้เพื่อทำให้เป็นไอออนวัสดุเป้าหมายเปลี่ยนเป็นพลาสมาเมื่ออนุภาคของวัสดุเป้าหมายเข้าใกล้สนามแม่เหล็กพวกเขาจะรับอิเล็กตรอนเพิ่มเติมซึ่งให้ประจุลบวัสดุเป้าหมายในรูปแบบของพลาสมาจากนั้นตกลงไปที่พื้นผิวด้วยการเคลื่อนย้ายแผ่นพื้นผิวรอบ ๆ เครื่องสามารถจับอนุภาคพลาสมาและทำให้มันเรียงกันฟิล์มบางอาจใช้เวลาไม่กี่วันในการก่อตัวขึ้นอยู่กับความหนาที่ต้องการของฟิล์มและประเภทของวัสดุเป้าหมาย