การแกะสลักไอออนปฏิกิริยาคืออะไร?

etching การแกะสลักไอออนปฏิกิริยาเป็นประเภทของเทคโนโลยีที่ใช้ในการสร้างไมโครไฟบริคเพื่อกำจัดสารออกจากเวเฟอร์เวเฟอร์เป็นแถบเซมิคอนดักเตอร์ขนาดเล็กที่ใช้ในการสร้าง microdevices และเทคโนโลยีการแกะสลักไอออนปฏิกิริยาทำให้มั่นใจได้ว่าพวกเขายังคงปราศจากวัสดุที่อาจส่งผลเสียต่อประสิทธิภาพของพวกเขาขั้นตอนการทำไมโครฟิล์มจะดำเนินการกับอุปกรณ์ที่ออกแบบมาเป็นพิเศษซึ่งระบุสารที่จะถูกลบออกโดยไม่เสียสละความสมบูรณ์ของเวเฟอร์

อุปกรณ์แกะสลักไอออนปฏิกิริยาที่พบมากที่สุดทำจากช่องสูญญากาศรูปทรงกระบอกส่วนล่างของห้องมีรูเล็ก ๆ อยู่ด้านบนของเรือที่ปล่อยก๊าซมีการใช้ก๊าซประเภทต่าง ๆ ขึ้นอยู่กับความต้องการส่วนบุคคลของเวเฟอร์โดยเฉพาะ

พลาสมาคู่แบบเหนี่ยวนำเป็นอีกโหมดหนึ่งของเทคโนโลยีนี้ด้วยอุปกรณ์นี้พลาสมาถูกสร้างขึ้นโดยสนามแม่เหล็กที่มีความเชี่ยวชาญสูงไม่ใช่เรื่องแปลกที่จะได้รับความเข้มข้นของพลาสมาในระดับสูงด้วยวิธีนี้

พลาสมาการแกะสลักไอออนปฏิกิริยาเป็นสถานะของสสารที่มีปฏิกิริยาทางเคมีและถูกสร้างขึ้นโดยสนามแม่เหล็กไฟฟ้าคลื่นวิทยุ (RF) มาตรฐานมากขึ้นไอออนภายในพลาสมามีพลังงานสูงผิดปกติไอออนเหล่านี้ทำปฏิกิริยากับเศษซากบนเวเฟอร์และทำงานเพื่อกำจัดข้อบกพร่องบนพื้นผิวของมัน

กระบวนการทางเคมีที่เกี่ยวข้องกับการแกะสลักไอออนปฏิกิริยาเป็นหนึ่งในหลายแง่มุมครั้งแรกสนามแม่เหล็กไฟฟ้าจำนวนมากจะถูกส่งไปยังห้องเวเฟอร์จากนั้นสนามจะแกว่งซึ่งทำให้โมเลกุลของก๊าซเป็นไอออนในเรือและกำจัดอิเล็กตรอนของพวกเขาส่งผลให้เกิดการสร้างพลาสมาetching ไอออนปฏิกิริยาปฏิกิริยาเป็นประเภทหนึ่งของการกำจัด microfabrication ประเภทที่กว้างขึ้นที่เรียกว่าการแกะสลักแบบแห้งมันไม่ใช้ของเหลวในกระบวนการกำจัดซึ่งแตกต่างจากการแกะสลักแบบเปียกซึ่งใช้กรดและสารเคมีต่าง ๆ เพื่อให้ได้ปลายเดียวกันเนื่องจากการแกะสลักแบบเปียกทำให้เกิดการตัดทอนเวเฟอร์เช่นเดียวกับของเสียที่เป็นพิษจำนวนมากการแกะสลักแบบแห้งจึงกลายเป็นวิธีที่ได้รับความนิยมมากขึ้นในการกำจัดสารเคมีเวเฟอร์

หนึ่งในข้อเสียที่สำคัญของการแกะสลักไอออนปฏิกิริยาคือค่าใช้จ่ายเมื่อเทียบกับเทคนิคการแกะสลักแบบเปียกมันมีราคาแพงกว่ามากเนื่องจากอุปกรณ์พิเศษที่จำเป็นกระบวนการแกะสลักแบบแห้งโดยทั่วไปมีประสิทธิภาพมากขึ้นในการเข้าถึงพื้นที่ที่มีความซับซ้อนของเวเฟอร์เป็นสิ่งสำคัญที่ต้องจำไว้ว่างานบางอย่างไม่ต้องการรายละเอียดนาทีที่ได้รับจากการแกะสลักรูปแบบนี้และขั้นตอนการแกะสลักแบบเปียกอาจทำให้งานสำเร็จได้อย่างมีประสิทธิภาพ