กระบวนการฟิล์มบางคืออะไร?

กระบวนการฟิล์มบางสามารถเกี่ยวข้องกับกระบวนการทางเคมีหรือทางกายภาพที่แตกต่างกันจำนวนมากเทคนิคการประมวลผลฟิล์มบางที่พบมากที่สุดคือการใช้สารเคมีของเหลวหรือก๊าซวิธีการระเหยหรือกระบวนการสปัตเตอร์การรวมกันของเทคนิคเหล่านี้ยังพบได้ทั่วไปในกระบวนการฟิล์มบางซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมคุณสมบัติของผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้ายได้มากขึ้นกระบวนการฟิล์มบางอาจเป็นทางกายภาพหรือทางเคมีในธรรมชาติ

สารเคมีไม่ว่าจะเป็นของเหลวหรือก๊าซสามารถใช้ในการสร้างฟิล์มบางยกตัวอย่างเช่นการสะสมไอสารเคมีเผยให้เห็นวัสดุกับสารเคมีที่สลายตัวหรือทำปฏิกิริยากับวัสดุมักจะมีผลพลอยได้จากอันตรายหรือผันผวนที่สร้างขึ้นในระหว่างกระบวนการนี้ดังนั้นห้องปฏิบัติการจะต้องติดตั้งเพื่อกำจัดสารเคมีที่เป็นผลลัพธ์การให้ความร้อนพื้นผิวอาจช่วยเพิ่มการเติบโตของฟิล์มบาง ๆ ในระหว่างการสะสมไอสารเคมี

การระเหยเป็นอีกกระบวนการฟิล์มบาง ๆในการระเหยวัสดุเป้าหมายจะถูกทำให้ร้อนจนกระทั่งมันระเหยหรือ sublimatesเมื่อสารเป็นก๊าซมันจะถูกปล่อยลงในห้องที่มีสารตั้งต้นที่ฟิล์มบางจะเกิดขึ้นสารกระทบพื้นผิวและสร้างฟิล์มบาง ๆ

มีเครื่องจักรหลายเครื่องที่สามารถใช้ในการระเหยวัสดุเป้าหมายเครื่องเหล่านี้สามารถให้ความร้อนกับวัสดุเป้าหมายบนขดลวดอุ่นแผ่นหรือในห้องอุ่นสารสามารถระเหยได้หากถูกตีด้วยลำแสงของอิเล็กตรอนหรือโฟตอนที่มีความเข้มสูงเช่นเลเซอร์ที่ปล่อยออกมา

กระบวนการสปัตเตอร์ซึ่งเรียกว่าการสะสมสปัตเตอร์ในระหว่างกระบวนการนี้สารตั้งต้นจะถูกวางไว้ในห้องสูญญากาศในเครื่องพิเศษอากาศถูกดูดออกจากห้องและวัสดุเป้าหมายจะถูกปล่อยเข้าไปในห้องในรูปของก๊าซแม่เหล็กที่แข็งแกร่งสร้างประจุที่ทำให้วัสดุเป้าหมายเป็นไอออนและฝากบนพื้นผิวการเคลื่อนย้ายสารตั้งต้นไปมาในระหว่างกระบวนการนี้ทำให้มั่นใจได้ว่าฟิล์มบางมีการกระจายอย่างสม่ำเสมอบนพื้นผิวของมัน

กระบวนการฟิล์มบางสร้างฟิล์มบาง ๆ ขององค์ประกอบต่าง ๆ หรือโมเลกุลที่อยู่ระหว่างความหนาไม่กี่และไม่กี่ร้อยอะตอมฟิล์มบางมีการใช้งานมากมายและเป็นส่วนประกอบทั่วไปในคอมพิวเตอร์อุปกรณ์ออพติคอลและตัวกรองสีสำหรับกล้องและกล้องโทรทรรศน์ฟิล์มบาง ๆ มักทำจากไทเทเนียมอลูมิเนียมทองเงินและโลหะผสมของโลหะเหล่านี้พื้นผิวทั่วไป ได้แก่ โลหะพลาสติกแก้วและเซรามิกส์