MEMS ย่อมาจาก Micro Electro-Mechanical Systems หมายถึงระบบเครื่องจักรที่ใช้งานได้ด้วยส่วนประกอบที่วัดในไมโครมิเตอร์ MEMS มักถูกมองว่าเป็นก้าวย่างระหว่างเครื่องจักรขนาดใหญ่แบบธรรมดาและโรงพยาบาลระดับนาโนในอนาคต สารตั้งต้นของ MEMS นั้นอยู่ในระยะเวลาหนึ่งในรูปแบบของไมโครอิเล็กทรอนิคส์ แต่ระบบเหล่านี้เป็นระบบอิเล็กทรอนิกส์ล้วนๆไม่สามารถประมวลผลหรือแสดงผลอะไรเลยนอกจากชุดของแรงกระตุ้นไฟฟ้า อย่างไรก็ตามเทคนิค MEMS-fabrication ที่ทันสมัยส่วนใหญ่ใช้เทคโนโลยีเดียวกับที่ใช้ในการผลิตวงจรรวมนั่นคือเทคนิคการสะสมฟิล์มซึ่งใช้เทคนิคการถ่ายภาพด้วยแสง
ถือว่าเป็นเทคโนโลยีที่เปิดใช้งานได้มากกว่าการสิ้นสุดตัวเองการประดิษฐ์ MEMS ถูกมองเห็นโดยวิศวกรและนักเทคโนโลยีซึ่งเป็นอีกหนึ่งความยินดีล่วงหน้าในความสามารถของเราในการสังเคราะห์โครงสร้างทางกายภาพที่หลากหลายซึ่งออกแบบมาเพื่อทำงานที่มีประโยชน์ ส่วนใหญ่มักกล่าวถึงร่วมกับ MEMS เป็นแนวคิดของ "lab-on-a-chip" อุปกรณ์ที่ประมวลผลตัวอย่างเล็ก ๆ ของสารเคมีและส่งคืนผลลัพธ์ที่เป็นประโยชน์ สิ่งนี้สามารถพิสูจน์ได้ว่าเป็นการปฏิวัติวงการแพทย์วินิจฉัยซึ่งผลการวิเคราะห์ในห้องปฏิบัติการมีค่าใช้จ่ายเพิ่มเติมสำหรับความคุ้มครองทางการแพทย์ความล่าช้าในการวินิจฉัยและเอกสารที่ไม่สะดวก
MEMS ถูกประดิษฐ์ด้วยวิธีใดวิธีหนึ่งจากสองวิธี: ผ่านการทำผิวด้วยจุลภาคซึ่งเป็นชั้นของวัสดุที่ต่อเนื่องถูกวางลงบนพื้นผิวแล้วทำการกัดให้เป็นรูปร่างหรือผ่านการทำไมโครในปริมาณมาก micromachining พื้นผิวเป็นเรื่องธรรมดามากที่สุดเพราะมันสร้างความก้าวหน้าของวงจรรวม เป็นเอกลักษณ์ของ MEMS เทคนิคการสะสมบางครั้งทิ้ง "ชั้นบูชายัญ" ชั้นของวัสดุที่จะละลายและล้างออกในตอนท้ายของกระบวนการผลิตทิ้งโครงสร้างที่เหลือ กระบวนการนี้ช่วยให้อุปกรณ์ MEMS มีโครงสร้างที่ซับซ้อนใน 3 มิติ มีการประดิษฐ์เกียร์ขนาดเล็กปั๊มเซ็นเซอร์ท่อและแอคทูเอเตอร์และบางส่วนได้ถูกรวมเข้ากับผลิตภัณฑ์เชิงพาณิชย์ประจำวันแล้ว
ตัวอย่างของการใช้ MEMS สมัยใหม่ ได้แก่ เครื่องพิมพ์อิงค์เจ็ทเครื่องวัดความเร่งในรถยนต์เซ็นเซอร์ความดันเลนส์ออปติกความแม่นยำสูงไมโครฟลูอิดิกส์การตรวจสอบเซลล์ประสาทส่วนบุคคลระบบควบคุมและกล้องจุลทรรศน์ ขณะนี้ไม่มีสิ่งดังกล่าวเป็นระบบเครื่องไมโครสโคปที่มีประสิทธิผลในการสั่งซื้อของสายการประกอบ macroscale ที่มีประสิทธิผล แต่ดูเหมือนว่าการประดิษฐ์ของอุปกรณ์ดังกล่าวเป็นเพียงเรื่องของเวลา ความคาดหวังของการผลิตด้วย MEMS นั้นน่าตื่นเต้นเพราะอาร์เรย์ของระบบดังกล่าวที่ทำงานในแทนเจนต์อาจมีประสิทธิผลมากกว่าระบบ macroscale ที่มีปริมาตรเท่ากันและใช้พลังงานในปริมาณเดียวกัน อย่างไรก็ตามข้อ จำกัด ที่โดดเด่นอย่างหนึ่งคือผลิตภัณฑ์ขนาดมหึมาที่สร้างขึ้นโดยระบบเครื่องจักรระดับจุลภาคจะต้องมีส่วนประกอบหลักของหน่วยการสร้างกล้องจุลทรรศน์สำเร็จรูป
