Skip to main content

สเปคตรัมอิเล็กตรอน Auger คืออะไร?

Auger Electron Spectroscopy (AES) มักใช้เพื่อกำหนดองค์ประกอบทางเคมีของชั้นกล้องจุลทรรศน์บาง ๆ ของพื้นผิวอนุภาคที่เรียกว่าอิเล็กตรอนมักจะมุ่งเป้าไปที่วัสดุทำให้เกิดเอฟเฟกต์สว่านซึ่งอิเล็กตรอนจากเปลือกด้านในของอะตอมจะถูกลบออกอนุภาคระดับสูงขึ้นจะเกิดขึ้นและปล่อยอิเล็กตรอนอื่นดำเนินการในสุญญากาศสูงเป็นพิเศษการทดสอบมักจะทำได้ด้วยปืนอิเล็กตรอนเครื่องวิเคราะห์เครื่องตรวจจับและเครื่องบันทึกข้อมูลโดยทั่วไปข้อมูลจะถูกวิเคราะห์แบบกราฟิกธรรมชาติของยอดเขามักจะช่วยระบุว่ามีสารประกอบอะไรบ้างในตัวอย่าง

คานอิเล็กตรอนมักจะใช้แม้ว่ารังสีเอกซ์บางครั้งจะถูกปล่อยออกมาแทนประเภทของวัสดุที่ถูกทดสอบกำหนดว่าใช้ตัวอย่างเช่นออกไซด์สามารถลดลงหากสัมผัสกับอิเล็กตรอนในระดับสูงสารสามารถระบุได้เนื่องจากพลังงานของอิเล็กตรอนสว่านมักจะไม่ซ้ำกันกับองค์ประกอบในสเปคตรัมอิเล็กตรอนสว่านอนุภาคที่หลบหนีมักจะไม่กระฉับกระเฉงเหมือนคนอื่น ๆโดยทั่วไปจะต้องอยู่ใกล้กับพื้นผิวมากเพื่อให้สามารถหลบหนีได้และก๊าซใด ๆ ที่มีอยู่ในระหว่าง AEเลนส์ที่มุ่งเน้นลำแสงเลนส์สามารถเป็นไฟฟ้าสถิตหรือแม่เหล็กไฟฟ้าได้อันไหนที่ใช้ขึ้นอยู่กับความละเอียดที่ต้องการเครื่องวิเคราะห์พลังงานอิเล็กตรอนที่เป็นส่วนหนึ่งของเทคนิคสเปกโทรสโกปีอิเล็กตรอนสว่านสามารถแยกอนุภาคที่ปล่อยออกมาตามระดับพลังงานของพวกเขาเครื่องวิเคราะห์สามารถออกแบบเป็นกระจกทรงกระบอกหรือเปลือกหอยศูนย์กลางครึ่งซีก

เครื่องตรวจจับช่องทางเดียวหรือหลายช่องทางมักใช้สำหรับสเปกโทรสโกปีอิเล็กตรอนแบบสว่านข้อมูลจะถูกวิเคราะห์โดยชุดของยอดเขาบนกราฟการสแกนมักจะใช้เวลาไม่กี่นาทีในการวัดความละเอียดสูงอาจใช้เวลาสูงสุด 25 นาทีการสแกนแบบสำรวจมักจะระบุว่ามีองค์ประกอบใดบ้างในขณะที่การสแกนอื่นสามารถบอกได้ว่าอะตอมบางตัวเข้มข้นเป็นอย่างไรหากลำแสงถูกสแกนผ่านตัวอย่างแผนที่ของพื้นผิวที่วัดได้สามารถผลิตได้

Auger Electron Spectroscopy Science มักจะใช้ในการใช้ฟิสิกส์และเคมีหลายอย่างนอกเหนือจากการระบุองค์ประกอบบนพื้นผิวแล้วยังสามารถใช้ในการตรวจจับการเกิดออกซิเดชันและการกัดกร่อนได้เช่นกันการตอบสนองอุณหภูมิและความเหนื่อยล้าที่เกี่ยวข้องสามารถวิเคราะห์ได้โดยใช้ AESเทคนิคนี้ยังสามารถใช้ในการตรวจสอบวงจรรวมสำหรับสารปนเปื้อน แต่ข้อ จำกัด ของกระบวนการคือมักจะมีความเสียหายต่อพื้นผิวของวัสดุที่ทดสอบ