Skip to main content

micromachining จำนวนมากคืออะไร?

micromachining จำนวนมากเป็นวิธีการสร้างส่วนประกอบเชิงกลหรือไฟฟ้าขนาดเล็กมากโดยทั่วไปกระบวนการนี้ใช้เวเฟอร์ซิลิคอน แต่บางครั้งจะใช้วัสดุพลาสติกหรือเซรามิกเช่นกันmicromachining จำนวนมากเริ่มต้นด้วยชิ้นส่วนที่เป็นของแข็งและกำจัดวัสดุจนกว่าจะถึงรูปร่างสุดท้ายเมื่อเทียบกับ micromachining พื้นผิวซึ่งสร้างชั้นชิ้นโดยชั้นวิธีที่พบบ่อยที่สุดในการดำเนินการ micromachining จำนวนมากคือผ่านการปิดบังแบบเลือกและตัวทำละลายเคมีเปียกทางเลือกที่ใหม่กว่าสำหรับวิธีนี้คือการแกะสลักแบบแห้งโดยใช้ระบบพลาสมาหรือเลเซอร์เพื่อลบวัสดุที่ไม่พึงประสงค์โดยทั่วไปแล้วจะแม่นยำกว่าการแกะสลักแบบเปียก แต่ก็มีราคาแพงกว่า

micromachining เป็นกระบวนการของการทำชิ้นส่วนเล็ก ๆ จริงๆส่วนประกอบเหล่านี้อาจเป็นอะไรก็ได้ตั้งแต่ไดโอดไปจนถึงเกียร์ฟันที่มีขนาดเท่ากับปลายปากกามีสองวิธีที่สำคัญในการดำเนินการตามกระบวนการนี้micromachining พื้นผิวจะใช้แต่ละชั้นของเวเฟอร์ซิลิคอนเพื่อสร้างชิ้นส่วนที่ด้านบนของชั้นที่มีอยู่ในขณะที่นี่เป็นกระบวนการที่สำคัญมาก แต่ก็ยากที่จะทำชิ้นส่วนที่เป็นอิสระและเป็นเอกลักษณ์ทั้งหมด

เพื่อสร้างส่วนประกอบประเภทเหล่านั้นผู้ผลิตจะใช้ micromachining จำนวนมากในหลาย ๆ ด้านสิ่งนี้คล้ายกับการแกะสลักรูปปั้นจากหินอ่อนเพียงแค่ขนาดเล็กกว่ามากเวเฟอร์ของซิลิกอนถูกประมวลผลเพื่อลบส่วนใด ๆ ที่ไม่ต้องการในชิ้นสุดท้ายการประมวลผลจำนวนมากจะเปลี่ยนจากขนาดใหญ่ถึงขนาดเล็กในขณะที่วิธีพื้นผิวเริ่มต้นจากขนาดเล็กไปจนถึงขนาดใหญ่

micromachining จำนวนมากส่วนใหญ่ใช้ซิลิคอนวัสดุมีราคาถูกมากเนื่องจากมีส่วนร่วมเกือบหนึ่งในสี่ของเปลือกโลกนอกจากนี้ยังมีโครงสร้างผลึกที่ดีมากที่สามารถแบ่งออกเป็นชั้นบางกว่าเส้นผมของมนุษย์สิ่งนี้ช่วยให้วัสดุสามารถทำงานในระดับกล้องจุลทรรศน์เช่นเดียวกับใน macroscopic

วิธีการที่พบบ่อยที่สุดของการใช้ไมโครมิเตอร์จำนวนมากเรียกว่าการแกะสลักสารเคมีเปียกอันดับแรกชิ้นงานจะถูกปกคลุมด้วยวัสดุที่จะปกป้องมันจากตัวทำละลายที่เลือกหน้ากากป้องกันจะถูกลบออกเพื่อเปิดเผยพื้นที่ของชิ้นส่วนที่กำลังออกมาชิ้นส่วนงานจะสัมผัสกับตัวทำละลายซึ่งจะละลายพื้นที่ที่ไม่มีการป้องกันและปล่อยให้ส่วนที่เหลือยังคงอยู่หลังจากนั้นวัสดุการปิดบังที่เหลือจะถูกลบออก

วิธีที่ใหม่กว่าสำหรับ micromachining จำนวนมากเรียกว่าการแกะสลักแบบแห้งสิ่งนี้ใช้อุปกรณ์ที่มีความแม่นยำสูงซึ่งมักจะเป็นเลเซอร์เพื่อระเหยวัสดุที่ไม่ต้องการเมื่อเปรียบเทียบกับกระบวนการเปียกนี่เป็นหลายขั้นตอนที่น้อยกว่าและการขาดตัวทำละลายที่อาจเป็นอันตรายเหตุผลหลักที่กระบวนการนี้ไม่ได้รับความนิยมมากขึ้นคือความแปลกใหม่เมื่อเทียบกับวิธีเปียกและค่าใช้จ่ายในการซื้ออุปกรณ์