Skip to main content

การสะสมสูญญากาศคืออะไร?

คำว่าการสะสมของสูญญากาศอธิบายกลุ่มของกระบวนการที่มีจุดประสงค์เพื่อวางอนุภาคแต่ละอนุภาคโดยเฉพาะอะตอมและโมเลกุลลงบนพื้นผิวกระบวนการนี้ดำเนินการในสุญญากาศเพื่อป้องกันการรบกวนหรือปฏิกิริยาใด ๆ กับอนุภาคก๊าซเช่นออกซิเจนซึ่งสามารถตอบสนองได้สูงชั้นบาง ๆ ที่ใช้กับพื้นผิวจะเรียกว่าฟิล์มในขณะที่ชั้นหนาเรียกว่าการเคลือบการทับถมของสูญญากาศสามารถตอบสนองวัตถุประสงค์ที่แตกต่างกันมากมายเช่นการฝากชั้นนำไฟฟ้าไปยังพื้นผิวหรือปกป้องโลหะจากการกัดกร่อนกระบวนการนี้มักจะใช้กับชิ้นส่วนยานยนต์ต่าง ๆ เพื่อวัตถุประสงค์ต่าง ๆ เช่นการป้องกันการเกิดสนิมและการกัดกร่อน

วิธีการสะสมของสูญญากาศที่ใช้กันมากที่สุดเกี่ยวข้องกับการใช้ไอบางครั้งสารที่จะฝากบนพื้นผิวจะกลายเป็นไอต่อมาจะควบแน่นเป็นชั้นบนพื้นผิวในกรณีอื่น ๆ สารหรือสารไอระเหยจะทำปฏิกิริยากับพื้นผิวเพื่อสร้างฟิล์มหรือการเคลือบที่ต้องการในบางกรณีต้องมีการจัดการปัจจัยอื่น ๆ เช่นอุณหภูมิหรือความหนาแน่นของไอเพื่อให้ได้ผลลัพธ์ที่ต้องการปัจจัยเหล่านี้สามารถมีอิทธิพลต่อความหนาและการทำงานร่วมกันของชั้นดังนั้นจึงเป็นสิ่งสำคัญที่พวกเขาจะถูกควบคุมอย่างถูกต้อง

การสะสมไอทางกายภาพคือการสะสมของสูญญากาศซึ่งมีเพียงกระบวนการทางกายภาพเท่านั้นไม่มีปฏิกิริยาทางเคมีวิธีการสะสมไอทางกายภาพส่วนใหญ่ใช้เพื่อครอบคลุมพื้นผิวด้วยฟิล์มบางสารระเหยจะถูกควบแน่นบนพื้นผิววิธีหนึ่งดังกล่าวเรียกว่าการสะสมไออิเล็กทรอนิกส์ลำแสงทางกายภาพในการสะสมไอของลำแสงอิเล็กตรอนวัสดุที่จะสะสมจะถูกทำให้ร้อนและระเหยด้วยลำแสงอิเล็กตรอนก่อนที่จะควบแน่นบนพื้นผิวของการสะสมอีกวิธีหนึ่งของการสะสมสูญญากาศทางกายภาพคือการสะสมสปัตเตอร์ซึ่งก๊าซหรือไอถูกนำออกจากแหล่งที่มาบางส่วนและกำกับที่พื้นผิวที่จะเคลือบ

การสะสมไอสารเคมีเป็นรูปแบบของการสะสมสูญญากาศซึ่งกระบวนการทางเคมีใช้ในการผลิตภาพยนตร์ที่ต้องการหรือการเคลือบก๊าซหรือไอระเหยทำปฏิกิริยากับพื้นผิวที่ตั้งใจจะเคลือบในสุญญากาศสารเคมีที่แตกต่างกันมากมายเช่นซิลิกอนไนไตรด์หรือโพลีซิลิกอนใช้ในกระบวนการสะสมไอสารเคมีที่แตกต่างกัน

สุญญากาศเป็นส่วนสำคัญของการสะสมสูญญากาศมันทำหน้าที่หลายบทบาทที่สำคัญการปรากฏตัวของสุญญากาศส่งผลให้มีความหนาแน่นต่ำของอนุภาคที่ไม่พึงประสงค์ดังนั้นอนุภาคที่มีจุดประสงค์เพื่อเคลือบพื้นผิวจะไม่ทำปฏิกิริยาหรือชนกับอนุภาคที่ปนเปื้อนใด ๆสูญญากาศยังช่วยให้นักวิทยาศาสตร์สามารถควบคุมองค์ประกอบสูญญากาศของห้องสูญญากาศเพื่อให้สามารถเคลือบขนาดและความสอดคล้องที่เหมาะสมได้