Scatterometer เป็นอุปกรณ์ตรวจวัดความแม่นยำที่ส่งพลังงานไมโครเวฟและอ่านการสะท้อนของแสงที่กระจัดกระจายกลับมาจากพื้นผิวเป้าหมายเพื่อรับข้อมูลมิติ แสง "สะท้อนกลับ" สามารถอ่านได้ในรูปแบบกราฟิกหรือพล็อตสีซ้อนทับของการถ่ายภาพพื้นผิวชิ้นงานดังนั้นจึงสามารถตรวจสอบและวัดค่าได้อย่างแม่นยำ เทคโนโลยีนี้ใช้ในห้องปฏิบัติการในสนามและในดาวเทียมสำหรับการใช้งานด้านวิทยาศาสตร์อุตสาหกรรมและการทหารมากมาย การใช้งานบางอย่างรวมถึงการวัดความสูงและการไหลของคลื่นมหาสมุทรเพื่อกำหนดทิศทางลมและความเร็วสำหรับการวิเคราะห์และตรวจสอบกระแสมหาสมุทร นอกจากนี้ scatterometry สามารถวัดสภาพภูมิประเทศภูมิอากาศโลกและเหตุการณ์สภาพอากาศและการสร้างวงจรความแม่นยำและนาโนเทคโนโลยี
การวัด Scatterometer ดำเนินการผ่านสภาวะที่ไม่พึงประสงค์แทนที่เทคโนโลยีที่ไม่แน่นอนซึ่งสามารถป้องกันได้จากความผิดปกติตั้งแต่การปกคลุมของเมฆไปจนถึงข้อบกพร่องของอุปกรณ์ออพติคัล การใช้คลื่นไมโครเวฟให้ข้อเสนอแนะที่แน่นอนของสัญญาณและเสียงรบกวนซึ่งให้การรวบรวมข้อมูลที่ชัดเจนน่าเชื่อถือและทำซ้ำได้ ข้อมูลที่ได้จากเทคโนโลยีนี้สร้างพื้นที่ใหม่ของการสอบถามนักวิทยาศาสตร์ในหลายสาขารวมถึงอุตสาหกรรมเกี่ยวกับการเดินเรือที่ซึ่ง scatterometry ให้ข้อมูลเชิงลึกเกี่ยวกับรูปแบบสภาพอากาศการประมงความปลอดภัยทางทะเลและภูมิอากาศโลก
การใช้เครื่องตรวจจับแสงและเลเซอร์ของความยาวคลื่นที่แตกต่างกัน scatterometers สามารถกำหนดลักษณะทางแสงของพื้นผิวและพื้นผิวพื้นฐาน เทคโนโลยีภาคพื้นดินอาจใช้แผ่นสะท้อนแสงพาราโบลิคระบบย่อยคลื่นความถี่วิทยุ (RF) อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ความถี่กลาง (IF) และหน่วยเก็บข้อมูล ระบบดังกล่าวสามารถตรวจสอบข้อมูล backscatter จากภูมิประเทศเช่นป่าไม้ดินและพืชพรรณ
ในการผลิตนั้นจะใช้ scatterometer ในการสร้างเซมิคอนดักเตอร์ซึ่งบางครั้งจำเป็นต้องมีการวัดในระดับอะตอม อุปกรณ์กึ่งตัวนำมีหลายเลเยอร์ที่ต้องการการจัดระดับความแม่นยำจนถึงระดับนาโนเมตร มาตรวิทยาหรือการศึกษาและการพัฒนาระบบการวัดได้นำเอา scatterometry ซึ่งมีประสิทธิภาพสูงกว่าแม้กระทั่งเทคโนโลยีการซ้อนภาพที่ดำเนินการด้วยกล้องจุลทรรศน์ที่ทรงพลัง มากกว่าภาพซ้อนทับวิศวกรกระจายความยาวคลื่นของแสงที่หลากหลายในแผ่นเวเฟอร์สารกึ่งตัวนำและวัดการสะท้อนกลับสองทิศทางของพวกเขาโดยใช้ซอฟต์แวร์และอัลกอริธึม วิธีนี้ช่วยให้สามารถวัดค่าการเยื้องศูนย์ที่แม่นยำได้โดยไม่ต้องอาศัยกล้องจุลทรรศน์หรือการใช้งานที่ผิดปกติ
เทคโนโลยี Scatterometer ช่วยให้สามารถวิเคราะห์วัสดุหรือพื้นผิวได้อย่างรวดเร็วและไม่ทำลายโดยการวิเคราะห์อย่างระมัดระวังของแสงแบบกระจายเมื่อเปรียบเทียบกับการเปลี่ยนแปลงรูปร่างของเส้นของพื้นผิวการกระเจิงเป็นระยะ เทคโนโลยีนี้วางอยู่ในดาวเทียมจำนวนมากที่ตรวจจับส่วนเรดาร์ที่สม่ำเสมอหรือ“ swaths” ของพื้นที่ผิวโลกรวมกับเทคโนโลยีการทำแผนที่ระบบการสื่อสารและสภาพอากาศอื่น ๆ หรือบริการค้นหาและช่วยเหลืออื่น ๆ เหตุการณ์ที่จะแสดงอย่างชัดเจนในการเปลี่ยนแปลงมิติที่แม่นยำ
ฟังก์ชั่นการกระจายแสงแบบสองทิศทาง (BRDF) อธิบายคุณสมบัติของวัสดุของการสะท้อนแสงจากพื้นผิวจริงที่ใช้ในด้านทัศนศาสตร์อุณหพลศาสตร์และวิทยาศาสตร์คอมพิวเตอร์ นวัตกรรมต่าง ๆ เช่นเครื่องวัดการกระเจิงของโดมช่วยให้การวัดการเลี้ยวเบนหลายครั้งในมุมตกกระทบหลายมุมรวมถึงแสงที่กระจัดกระจายไปจากมุมสุดยอดและมุมแอซิมัท วิธีนี้ช่วยให้มีความไวมากขึ้นในการอ่านโครงสร้างการกระเจิงทำให้สามารถรับข้อมูลจำนวนมากขึ้นในเวลาอันสั้น
