scatterometer คืออะไร?

scatterometer เป็นอุปกรณ์วัดความแม่นยำที่ส่งพลังงานไมโครเวฟและอ่านการสะท้อนแสงของแสงกระจายกลับจากพื้นผิวเป้าหมายเพื่อให้ได้ข้อมูลมิติแสง“ backscattered” สามารถอ่านได้ว่าเป็นภาพกราฟิกหรือสีซ้อนทับของการถ่ายภาพพื้นผิวเป้าหมายซึ่งช่วยให้การสังเกตและการวัดที่แม่นยำมากเทคโนโลยีนี้ใช้ในห้องปฏิบัติการในสาขาและในดาวเทียมสำหรับการใช้งานทางวิทยาศาสตร์อุตสาหกรรมและการทหารจำนวนมากการใช้งานบางอย่างรวมถึงการวัดความสูงของคลื่นในมหาสมุทรและการไหลเพื่อกำหนดทิศทางลมและความเร็วสำหรับการวิเคราะห์และการตรวจสอบในมหาสมุทรนอกจากนี้ scatterometry สามารถวัดภูมิประเทศสภาพอากาศทั่วโลกและเหตุการณ์สภาพอากาศและการสร้าง microcircuits ที่แม่นยำและนาโนเทคโนโลยี

การวัด scatterometer ดำเนินการผ่านเงื่อนไขที่ไม่พึงประสงค์แทนที่เทคโนโลยีที่ไม่แน่นอนการใช้พัลส์ไมโครเวฟให้ข้อเสนอแนะที่แน่นอนของสัญญาณและเสียงรบกวนซึ่งให้การรวบรวมข้อมูลที่ชัดเจนเชื่อถือได้และทำซ้ำได้ข้อมูลที่ได้จากเทคโนโลยีนี้สร้างพื้นที่ใหม่ของการสอบถามข้อมูลสำหรับนักวิทยาศาสตร์ในหลายสาขารวมถึงอุตสาหกรรมการเดินเรือที่ scatterometry ให้ข้อมูลเชิงลึกเกี่ยวกับรูปแบบสภาพอากาศการประมงความปลอดภัยทางทะเลและสภาพภูมิอากาศทั่วโลก

การใช้เครื่องตรวจจับแสงและเลเซอร์ที่มีความยาวคลื่นที่แตกต่างกันสามารถกำหนดลักษณะทางแสงของพื้นผิวและพื้นผิวพื้นฐานเทคโนโลยีภาคพื้นดินอาจใช้ตัวสะท้อนแสงพาราโบลา, ระบบย่อยความถี่วิทยุ (RF), อิเล็กทรอนิกส์ความถี่ระดับกลาง (IF) และหน่วยเก็บข้อมูลระบบดังกล่าวสามารถตรวจสอบข้อมูลย้อนกลับจากภูมิประเทศเช่นป่าไม้และพืชพรรณ

ในการผลิตจะใช้ scatterometer ในการก่อสร้างเซมิคอนดักเตอร์ที่บางครั้งต้องใช้การวัดในระดับอะตอมเซมิคอนดักเตอร์มีหลายชั้นที่ต้องการการจัดตำแหน่งที่แม่นยำลงไปยังระดับนาโนเมตรมาตรวิทยาหรือการศึกษาและการพัฒนาระบบการวัดได้นำไปใช้กับ scatterometry ซึ่งมีประสิทธิภาพสูงกว่าแม้กระทั่งเทคโนโลยีการซ้อนทับการถ่ายภาพที่ดำเนินการด้วยกล้องจุลทรรศน์ที่ทรงพลังแทนที่จะซ้อนทับภาพวิศวกรกระจายความยาวคลื่นที่แตกต่างกันของแสงข้ามเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์และวัดการสะท้อนแสงแบบสองทิศทางโดยใช้ซอฟต์แวร์และอัลกอริทึมสิ่งนี้จะช่วยให้การวัดที่แน่นอนของการจัดตำแหน่งไม่ผิดนาทีโดยไม่ขึ้นอยู่กับออพติกหรือการทำงานของกล้องจุลทรรศน์ที่ผิดปกติ

เทคโนโลยี scatterometer อนุญาตให้ทำการวิเคราะห์อย่างรวดเร็วและไม่ทำลายของวัสดุหรือพื้นผิวโดยการวิเคราะห์อย่างระมัดระวังของแสงที่กระจายไปเมื่อเทียบกับการเปลี่ยนแปลงในรูปทรงของพื้นผิวกระเจิงเป็นระยะเทคโนโลยีนี้ถูกวางไว้ในดาวเทียมจำนวนมากที่ตรวจสอบส่วนตัดขวางเรดาร์ที่สม่ำเสมอหรือ“ swaths, พื้นที่ผิวลูกโลกควบคู่ไปกับเทคโนโลยีการทำแผนที่ระบบการสื่อสารและบริการสภาพอากาศหรือการค้นหาและกู้ภัยอื่น ๆ สิ่งนี้อนุญาตให้ทุกอย่างตั้งแต่ความชื้นในดินไปจนถึงเหตุการณ์ภูเขาไฟที่จะแสดงอย่างชัดเจนในการเปลี่ยนแปลงมิติที่แม่นยำ

ฟังก์ชั่นการกระจายการสะท้อนแสงแบบสองทิศทาง (BRDF) อธิบายถึงคุณสมบัติของวัสดุแสงสะท้อนแสงจากพื้นผิวจริงที่ใช้ในเลนส์เทอร์โมไดนามิกและวิทยาศาสตร์คอมพิวเตอร์นวัตกรรมเช่น Dome scatterometer อนุญาตให้ทำการวัดการเลี้ยวเบนหลายครั้งที่หลายมุมของอุบัติการณ์รวมถึงแสงที่กระจัดกระจายจาก Zenith และ Azimuth Anglesสิ่งนี้อนุญาตให้มีความไวมากขึ้นในการอ่านโครงสร้างการกระเจิงทำให้สามารถรับข้อมูลจำนวนมากขึ้นในเวลาที่สั้นลง