Τι είναι ο χαρακτηρισμός λεπτών φιλμ;
Ο χαρακτηρισμός λεπτού φιλμ περιγράφει τη σύνθεση της ανάλυσης μικροσκοπικών στρωμάτων υλικών που χρησιμοποιούνται για την οπτική και τη βελτίωση του ημιαγωγού.Αυτά τα υλικά εξυπηρετούν πολλές βιομηχανίες και τεχνολογίες μεταβάλλοντας πολυάριθμα επιφανειακά χαρακτηριστικά, όπως οπτική, αγώγιμη, ανθεκτικότητα και άλλες ιδιότητες.Η νανομετρολογία αναφέρεται σε συγκεκριμένες μετρήσεις των μικροσκοπικών χαρακτηριστικών, ενώ ο χαρακτηρισμός μπορεί να αναλυθεί σε ποιοτική και ποσοτική ανάλυση πολυάριθμων χαρακτηριστικών.Αυτά μπορεί να περιλαμβάνουν παρατηρήσεις οπτικών, ηλεκτρικών και μαγνητικών ιδιοτήτων.
Πολλές κοινές και μοναδικές χρήσεις των λεπτών μεμβρανών κάνουν ακριβή ανάλυση της σύνθεσης μια ζωτική διαδικασία.Πολλές τεχνικές και εργαλεία χρησιμοποιούνται στη διαδικασία ανάπτυξης.Αυτά εξυπηρετούν την έρευνα και την ανάπτυξη και βοηθούν στην εξασφάλιση ποιοτικού ελέγχου στην παραγωγή.Δύο πρωταρχικές εκτιμήσεις στον χαρακτηρισμό του λεπτού φιλμ περιλαμβάνουν την παρατηρησιμότητα της διαδικασίας και την ικανότητα να εκτιμηθούν με ακρίβεια τις ιδιότητες του φιλμ με τις διαθέσιμες μεθόδους.Οι κοινές μέθοδοι μπορούν να περιλαμβάνουν φασματοφωτομετρικά, συμβολομετρικά και ελλειψομετρικά είδη.Άλλοι περιλαμβάνουν φωτοθερμικές και συνδυασμένες διαδικασίες.
Η εναπόθεση αναφέρεται στην εφαρμογή της ταινίας σε επιφάνειες χρησιμοποιώντας διάφορες πολύπλοκες τεχνικές.Αυτό δημιουργεί την ανάγκη για αισθητήρες σε πραγματικό χρόνο σε θέση να μετρήσουν τις ιδιότητες των λεπτών μεμβρανών στη θέση τους.Οι φασματοφωτομετρικές τεχνικές για τον χαρακτηρισμό του λεπτού φιλμ περιλαμβάνουν την ανάλυση της ανάκλασης και της μετάδοσης των οπτικών ιδιοτήτων.Οι ελλειψομετρικές τεχνικές παρατηρούν αλλαγές πόλωσης στο φως που διέρχονται από τις μεμβράνες σε διαθλαστική γωνία εμφάνισης και σύμφωνα με το τμήμα της φασματικής ζώνης.Τέτοιες γεωμετρικές ιδιότητες παρατηρούνται μέσω αντανακλάσεων και μεταδόσεων φωτός χρησιμοποιώντας μικροσκόπια και συμβολομετρικά παρεμβολής.Οι φωτοθερμικές τεχνικές καθορίζουν τις απορροφητικές ιδιότητες, όπως η θερμοκρασία και οι θερμοφυσικές ιδιότητες χρησιμοποιώντας οπτικά μέτρα.Οι μετρήσεις μπορούν να περιλαμβάνουν θερμιδομετρία λέιζερ, φωτοθερμική μετατόπιση, φωτοακουστικό κυτταρικό μικροσκοπικό αέριο και Mirage
Άλλες τεχνικές συνδυάζουν αυτές τις μεθόδους που ταιριάζουν.Τα επιφανειακά στρώματα λεπτής μεμβράνης εμφανίζουν συχνά διαφορετικές ιδιότητες από τα σύνθετα χαρακτηριστικά τους.Τα μοντέλα χαρακτηρισμού δομικών λεπτών φιλμ αξιολογούν ελαττώματα και μη ομοιομορφία, όγκο και οπτικές ασυνέπειες, καθώς και παραμέτρους μεταβατικού στρώματος.Στη νανοτεχνολογική κλίμακα, οι επιφάνειες μόνο μερικές ατομικές στρώσεις πρέπει να εναποτίθενται και να αξιολογούνται με ακρίβεια.Αναλύοντας διεξοδικά όλα τα χαρακτηριστικά, τα ελαττώματα και τα δομικά και πειραματικά μοντέλα, οι παραγωγοί μπορούν να χρησιμοποιήσουν βέλτιστες μεθόδους και εγκαταστάσεις για τη διαδικασία ανάπτυξης λεπτών φιλμ.
Εξειδικευμένες βιομηχανίες λεπτών ταινιών περιλαμβάνουν εταιρείες που επικεντρώνονται στον εξοπλισμό εναπόθεσης κατασκευής, τη μετρολογία και τον χαρακτηρισμό και τις συναφείς υπηρεσίες.Αυτά τα υλικά είναι ζωτικής σημασίας για πολλά προϊόντα και εξαρτήματα.Οι κατηγορίες μπορούν να περιλαμβάνουν τις βελτιώσεις της μικροηλεκτρονικής, της οπτικής, των αντι-ανακλαστικών και των ανθεκτικών σε επιπτώσεις επιφάνειες και πολλά άλλα, σε μικρές και μεγάλες τεχνολογίες.